Вимірювання НВЧ параметрів діелектричних матеріалів методом тонкого діелектричного резонатора

Віталій Іванович Молчанов, Валерій Маркович Пашков, Дмитро Дмитрович Татарчук, Антон Сергійович Франчук

Анотація


У статті розглянуто метод тонкого діелектричного резонатора для вимірювання НВЧ параметрів діелектричних матеріалів, його переваги і недоліки. Показано, що запропонований метод має високу чутливість і може бути використаний для вимірювання параметрів тонких діелектричних плівок, нанесених на підкладку. Бібл. 7, рис. 4.

Ключові слова


діелектрична проникність; тангенс кута діелектричних втрат; діелектричний резонатор; НВЧ параметри; чутливість методу

Повний текст:

PDF

Посилання


Y.V. Didenko, V.I. Molchanov, V.M. Pashkov, D.D. Tatarchuk, D.A. Shmygin (2014), Microwave methods of measuring the parameters of dielectric materials on the basis of the composite dielectric resonator. Electronics and Communications. Vol. 19. No. 6 (83). Pp. 14-20. (Rus).

Tatarchuk D.D. (2002), Measuring parameters of microwave dielectric materials by the method of EType dielectric resonator. Electronics and Communications. No.14. Pp. 22-23. (Ukr).

V. Pashkov, V. Bovtun, Y. Prokopenko, M. Kempa, V. Molchanov, et al. (2009), Measurement of dielectric films microwave parameters. Microwave & Telecommunication Technology (CriMiCo’2009): Proc. of 19th Int. Crimean Conf. (Sept. 2009, Sevastopol, Ukraine). Sevastopol, Pp. 769–770.

V. Bovtun, V. Pashkov, M. Kempa, S. Kamba, et al. (2011), An electrode-free method of characterizing the microwave dielectric properties of high-permittivity thin films. J. Appl. Phys. Vol. 109. 024106. Pp. 1–6.

V. Bovtun, V. Pashkov, M. Kempa, et al. (2011), Thin dielectric resonatots for microwave characterization of films and substrates. Microwave & Telecom Technology (CriMiCo’2011): Proc. of 21st Int. Crimean Conf. (Sept. 2011, Sevastopol, Ukraine). Sevastopol, Pp. 620–621.

Tatarchuk D.D. (2000), The quality factor of the rectangular combined resonators with E-type oscillations. Sciences. news NTU "KPI". No 2. Pp. 9-12. (Ukr)

V.I. Molchanov, D.D. Tatarchuk. (2008), Inhomogeneities in the microwave dielectric structures. Electronics and Communications. No. 6 (47). Pp. 10-14. (Rus)




DOI: http://dx.doi.org/10.20535/2312-1807.2015.20.1.38354

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Copyright (c) 2015 Електроніка та зв'язок

Creative Commons License
Ця робота ліцензована Creative Commons Attribution 4.0 International License.