PEREVERTAILO, V. V.; KUZMICHEV, A. I. Генерація надвисокочастотної плазми за допомогою еванесцентних хвиль. Мікросистеми, Електроніка та Акустика, Kyiv, Ukraine, v. 22, n. 6, p. 12–17, 2017. DOI: 10.20535/2523-4455.2017.22.6.105023. Disponível em: https://elc.kpi.ua/article/view/105023. Acesso em: 25 трав. 2024.