Perevertailo VV, Kuzmichev AI. Генерація надвисокочастотної плазми за допомогою еванесцентних хвиль. Мікросист., Електрон. та Акуст. [інтернет]. 29, Грудень 2017 [цит. за 27, Липень 2024];22(6):12-7. доступний у: https://elc.kpi.ua/article/view/105023