Клименко ВА, Семікіна ТВ. Мікромініатюрні сенсори тиску на основі діодних структур. Мікросист., Електрон. та Акуст. [інтернет]. 09, Травень 2023 [цит. за 02, Жовтень 2023];28(2):272760.1-272760.10. доступний у: http://elc.kpi.ua/article/view/272760