Параметри росту та якість плівки зародкового шару ZnO. Частина 2

Основний зміст сторінки статті

A. V. Bogdan
A. T. Orlov
V. A. Ulianova

Анотація

Представлено результати отримання зародкового шару ZnO за допомогою золь-гель мето-ду при концентраціях золю 0,8 та 1,2 М на підкладках кремнію, на підкладках кремнію та ніоботу літію з плівкою алюмінію. Показано, що зі збільшенням концентрації золю шорсткість плівки та діаметр зерна збільшуються. Подано результати синтезу вертикальних стрижневих структур ZnO на отриманих тонких плівках зародкового шару за допомогою методу гідротер-мального синтезу на підкладках кремнію. Визначено діаметр і густину синтезованих стрижне-вих структур ZnO, показано залежність таких геометричних параметрів стрижневих структур від властивостей зародкового шару. Отримані результати можуть бути використані для ство-рення сенсорів на акустичних хвилях та нанорозмірних приладів.

Бібл. 5, рис. 5.

Блок інформації про статтю

Як цитувати
Bogdan, A. V., Orlov, A. T., & Ulianova, V. A. (2013). Параметри росту та якість плівки зародкового шару ZnO. Частина 2. Електроніка та Зв’язок, 18(2), 16–21. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2013.18.2.173998
Розділ
Твердотільна електроніка

Посилання

Bai Shr-Nan, Synthesis of ZnO nanowires by the hydrothermal method,using sol–gel prepared ZnO seed films / Shr-Nan Bai, Shich-Chuan Wu // J Mater Sci: Mater Electron. – 2011. – 22. – P. 339–344.

Bogdan A., Orlov A., Ulianova V., Growing parameters and quality of ZnO seed-layer film (Part 1) / A. Bogdan, A. Orlov, V. Ulianova // Electronics and Communications. –2012. – №6.

Ilican S., Preparation and characterization of ZnO thin filmsdeposited by sol-gel spin coating method / S. Ilican, Y. Caglar, M. Caglar // Journal of optoelectronics and advanced materials. – 2008. – Vol. 10, No. 10. – P. 2578 – 2583.

Lu Yicheng, Multifunctional Biosensor Based on ZnO Nanostructures / Lu Yicheng // Acoust. Soc. Am. – 2012. – Vol. 131, Issue 2, – P. 1667-1667.

Raoufi D., Raoufi T., The effect of heat treatment on the physical properties of sol-gel derived ZnO thin films / Davood Raoufi, Taha Raoufi // Applied surface science. – 2009. – Vol. 225. – P. 5812-5817.