Особливості виникнення та розвитку імпульсного магнетронного розряду
Основний зміст сторінки статті
Анотація
Проведено дослідження імпульсного магнетронного розряду. Встановлено фізична картина процесу його виникнення і розвитку, а також фактори, що впливають на нього. Виявлено дві фази розвитку розряду - повільна слабкострумова і швидка Потужнострумові. Визначено шляхи досягнення високої стабільності часових параметрів виникнення і формування розряду. Отримані результати дозволяють вибирати оптимальні режими ланцюга підготовчому розряду і імпульсів генератора, що забезпечують стабільну роботу електронних приладів і пристроїв на імпульсно магнетронном розряді.
Блок інформації про статтю
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
Посилання
P. A. Redhead, “The Townsend discharge in a coaxial diode with axial magnetic field,” Can. J. Phys., vol. 36, no. 3, pp. 255–270, 1958. DOI: 10.1139/p58-030
Goncharov O.A., Dobrovol'skyi A.M., Evsyukov A.M., Protsenko I.M., Litovko I.V., “New Vision of the Physics of Gas Magnetron-type Discharges,” Ukr. J. Phys., vol. 54, no 1-2, pp.63-67, 2009
[1]A. Kuzmichev, O. Volpyan, and A. Samokish, “Sovremennyye opticheskiye plonochnyye pokrytiya [Modern optical film coatings]”, Electronics and communication, vol. 46, no. 5, pp. 5–20, Jan. 2008.
Kuzmichev A.I., Magnetronnyye raspylitel'nyye sistemy [Magnetron Spray Systems], Kyiv: Avers, 2008, p. 168. ISBN 966-8934-07-5
[1]S. Denbnovetskiy, R. Hippler, A. Kuzmichev, V. Kulikovskiy, S. Nisimov, and S. Sidorenko, “Zapazdyvaniye vozniknoveniya razryada v impul’snykh magnetronnykh raspylitel’nykh ustroystvakh [Delay in the onset of a discharge in pulsed magnetron spray devices]”, Electronics and communication, no. 8, pp. 195–198, Jan. 2000.
[1]A. Kuzmichev and A. Shendakov, “O regulyarnykh kolebaniyakh v tleyushchem razryade so skreshchennymi polyami [Regular oscillations in a glow discharge with crossed fields]”, Zhurnal tekhnicheskoy fiziki, vol. 45, no. 6, pp. 1349–1350, Jan. 1975.
