Реєстрація модуляційно-поляризаційним методом механічних напружень в поверхневих плівках на твердотільній підкладці
Основний зміст сторінки статті
Анотація
В статті представлена модуляційно-поляризаційна методика реєстрації областей
стиснення-розтягнення в плівкових покриттях оптичнопрозорих твердотільних підкла-
док (як кристалічних так і аморфних). На основі аналізу розподілу механічних напружень в
приповерхневому шарі твердотільної підкладки розроблено підхід для розрахунків фізичних параметрів нанесеної плівки. Отримані модифікованих вирази з рівнянь Стоуні, що пов’язують пластичну деформацію твердотільної підкладки з її оптичними параметрами.
Закладена в розрахунки можливість реєстрації знакозмінних деформацій дозволила розрахувати механічні напруження в настільки тонких поверхневих плівках, які викликають нехтовно малу пластичну деформацію підкладки.
Бібл. 8, рис. 4.
Блок інформації про статтю
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
Посилання
Stoney, G. S. (1990). Proc. Royal Soc. Ser. A. V. 82. NA553, pp. 172-175.
Timoshenko, S. P. (1925). J. Optical Soc. of America and Reviue of Scientific Instruments. Vol. 11, №
pp. 233-255.
Singer, P. (1992). Film Stress and How to Measure it’. Semiconductor International. № 10. pp. 54-58.
Ayvazyan, G. E. (1999). ‘Anisotropic Warpage of Wafers with Anodized Porous Silicon Layers. Phys.
Stat. Sol. (a). Vol. 175. pp.7-83.
Sergeev, V. S., Kuznetsov, O. A. (1994). Stresses and deformations in IC elements. Moscow: Radio
and Communication.
Yuzeich, B. M. (2003). Mechanical stresses in thin copper films on the monocristal Si. Metal physics
and new technologies. Vol. 25, № 6. pp. 747-761.
Serdega, B. K. (2011). Modulation polarimetry. Кyiv: Naukova Dumka.
Davydov, S. Yu. and Tikhonov, S. K. (1997). Photoelasticity and quadratic permittivity of wide-gap
semiconductors. Semiconductors. Vol. 31, № 7. pp. 698-699.
