Кластерна модель утворення нітриду алюмінію в нанореакторах оксиду алюмінію

Основний зміст сторінки статті

В.І. Глотов
П.В. Деминский
Н.О. Ляхова
І.В. Масол
В.І. Осінский

Анотація

Запропоновано та реалізовано нетрадиційний метод отримання кластерів гетерогенних та гомогенних наноструктур оксидівнітридів алюмінію шляхом заміщення частини атомів кисню низькоенергетичними іонами азоту у твердій фазі всередині нанопор оксиду алюмінію Al2O3 (наносапфіру). Експериментально отримані наношари AlN, AlNxO1-x, Al2O3 та показана можливість заміщення атомів кисню атомами азоту при порівняно низькій температурі та енергії іонів, необхідної для розриву в достатню кількість хімічних зв'язків Al-O і вбудовування атомів азоту в плівку з освітою локальних фаз AlN, AlNxO1-x

Блок інформації про статтю

Як цитувати
Глотов, В. ., Деминский, П. ., Ляхова, Н. ., Масол, І. ., & Осінский, В. . (2011). Кластерна модель утворення нітриду алюмінію в нанореакторах оксиду алюмінію. Електроніка та Зв’язок, 16(4). https://doi.org/10.20535/2312-1807.2011.16.4.244508
Розділ
Наноструктури і нанотехнології в електроніці

Посилання

V. Y. Osynskyi, O. D. Diachenko, and P. V. Demynskyi, “ Upravlenie svojstvami slozhnyh III-oksidnyh nanokristallicheskih elementov v tekhnologii optoelektronnyh priborov na nitridah galliya, indiya i alyuminiya [Controlling the properties of complex III-oxide nanocrystalline elements in the technology of optoelectronic devices based on gallium, indium and aluminum nitrides] “, Opt-el. іnf-energ. tekhn., vol. 20, no. 2, pp. 122–130, Jan. 2021.

SHpak A.P., Kunickij YU.A. Karbovskij V.L., Klasternye i nanostrukturnye materialy [Cluster and nanostructured materials], Kiev, Akademperiodika, 2001.

Rabinovich V.A., Havin Z.YA., Kratkij himicheskij spravochnik [Brief chemical reference book], Moscow, «Himiya», 1978.

Osinsky V., Dyachenko O., “Crystal lattice engeneering the novel-substrates for III-nitride-oxide heterostructures”, Semiconductor physics, Quantum electronics and optoelectronics, Vol.13, no.2, pp.141–144, 2010