Bevza, O.M. і Kuzmichiev, A.I. 2019. Дослідження електронної складової імпульсного магнетронного розряду. Мікросистеми, Електроніка та Акустика. 24, 6 (Груд 2019), 6–16. DOI:https://doi.org/10.20535/2523-4455.2019.24.6.197171.