[1]
Perevertailo, V.V. і Kuzmichev, A.I. 2017. Генерація надвисокочастотної плазми за допомогою еванесцентних хвиль. Мікросистеми, Електроніка та Акустика. 22, 6 (Груд 2017), 12–17. DOI:https://doi.org/10.20535/2523-4455.2017.22.6.105023.