Bevza OM, Kuzmichiev AI. Дослідження електронної складової імпульсного магнетронного розряду. Мікросист., Електрон. та Акуст. [інтернет]. 27, Грудень 2019 [цит. за 01, Вересень 2024];24(6):6-16. доступний у: https://elc.kpi.ua/article/view/197171