Perevertailo VV. Моделювання надвисокочастотного генератора плазми. Мікросист., Електрон. та Акуст. [інтернет]. 28, Лютий 2018 [цит. за 27, Липень 2024];23(1):16-22. доступний у: https://elc.kpi.ua/article/view/105252