Мікроелектронні сенсори для контролю температури інтегральних мікросхем

Основний зміст сторінки статті

О.В. Борисов
В.А. Гусев
Л.Н. Павлов
П.А. Яганов

Анотація

Розглянуто особливості мікроелектронних сенсорів, призначені визначення температури підкладки інтегральних мікросхем. Проведено порівняння термосенсорів на основі резистивних, діодних та транзисторних структур.

Блок інформації про статтю

Як цитувати
Борисов, О. ., Гусев, В. ., Павлов, Л. ., & Яганов, П. . (2010). Мікроелектронні сенсори для контролю температури інтегральних мікросхем. Електроніка та Зв’язок, 15(1), 5–11. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2010.15.1.312917
Розділ
Твердотільна електроніка

Посилання

V. Vasiliev, “Classification and methods of reducing temperature errors of sensors based on solid-state structures”, Sensors and systems, no. 12, pp. 6–7, 2001.

V. Bartenev, “Digital temperature sensors”, Sensors and systems, no. 12, pp. 33–38, 2004.

W. Tompkins and J. Webster, Interface of sensors and data input devices with IBM PC computers, Moscow: Mir, 1992, p. 592.

V. Bartenev, “Digital temperature sensors”, Sensors and systems, no. 12, pp. 33–38, 2004.

A. Greben, Design of analog integrated circuits, Moscow: Energiya, 1976, p. 256.

N. R. Kulish, “Self-consistent method for optimization of parameters of diode temperature sensors”, Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics, vol. 2, no. 2, pp. 15–27, Jul. 1999. DOI:10.15407/spqeo2.02.015

Y. Shwarts, V. Borblik, N. Kulish, E. Venger, and V. Sokolov, “Limiting characteristics of diode temperature sensors”, Sensors and Actuators A: Physical, vol. 86, no. 3, pp. 197–205, Nov. 2000. DOI:10.1016/S0924-4247(00)00445-3

P. Yaganov and Y. Shvarts, “Approximation of thermometric characteristics of diode sensors by multifactor analysis”, Bulletin of NTUU "KPI". Instrumentation Series, no. 30, pp. 5–11, 2005.

P. Yaganov, “Modeling of temperaturecharacteristics of silicon sensors at low injection levels”, News of highereducational institutions. Radio electronics, no. 6, pp. 72–78, 2005.

V. Gusev, A. Borisov, P. Yaganov, and L. Pavlov, “Optimization of the structure of silicon transistor temperature sensors”, Electronics and Communications, vol. 31, no. 2, pp. 5–10, 2006.

S. Zi, Physics of semiconductor devices: In 2 books, vol. 1. Moscow: Mir, 1984, p. 456.