Мачулянський, О., Борисова, А.В., Родионов, М.К., Смілик, В. і Якименко, Ю. 2015. Діелектричні плівки оксинітриду алюмінію отримані реактивним розпиленням. Електроніка та Зв’язок. 20, 3 (Лис 2015), 31. DOI:https://doi.org/10.20535/2312-1807.2015.20.3.53591.