Мачулянський, О., Борисова, А. В., Родионов, М. К., Смілик, В., & Якименко, Ю. (2015). Діелектричні плівки оксинітриду алюмінію отримані реактивним розпиленням. Електроніка та Зв’язок, 20(3), 31. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2015.20.3.53591