МАЧУЛЯНСЬКИЙ, О.; БОРИСОВА, А. В.; РОДИОНОВ, М. К.; СМІЛИК, В.; ЯКИМЕНКО, Ю. Діелектричні плівки оксинітриду алюмінію отримані реактивним розпиленням. Електроніка та Зв’язок, [S. l.], v. 20, n. 3, p. 31, 2015. DOI: 10.20535/2312-1807.2015.20.3.53591. Disponível em: https://elc.kpi.ua/old/article/view/53591. Acesso em: 23 лис. 2024.