Мачулянський, О., Борисова, А. В., Родионов, М. К., Смілик, В. і Якименко, Ю. (2015) «Діелектричні плівки оксинітриду алюмінію отримані реактивним розпиленням», Електроніка та Зв’язок, 20(3), с. 31. doi: 10.20535/2312-1807.2015.20.3.53591.