О. Мачулянський, А. В. Борисова, М. К. Родионов, В. Смілик, и Ю. Якименко, «Диэлектрические пленки оксинитрида алюминия полученные ре-активным распылением», Електр.Зв’яз., т. 20, вып. 3, с. 31, ноя. 2015.