[1]
О. Мачулянський, А. В. Борисова, М. К. Родионов, В. Смілик, і Ю. Якименко, «Діелектричні плівки оксинітриду алюмінію отримані реактивним розпиленням», Електр.Зв’яз., т. 20, вип. 3, с. 31, Лис 2015.