Мачулянський, О., А. В. Борисова, М. К. Родионов, В. Смілик, и Ю. Якименко. «Диэлектрические пленки оксинитрида алюминия полученные ре-активным распылением». Электроника и Связь, т. 20, вып. 3, ноябрь 2015 г., с. 31, doi:10.20535/2312-1807.2015.20.3.53591.