Мачулянський, О., Александра Владимировна Борисова, М. К. Родионов, В. Смілик, і Ю. Якименко. «Діелектричні плівки оксинітриду алюмінію отримані реактивним розпиленням». Електроніка та Зв’язок 20, no. 3 (Листопад 15, 2015): 31. дата звернення Листопад 23, 2024. https://elc.kpi.ua/old/article/view/53591.