Воронов С, Цибульський Л. Колімація атомарних потоків індукційних випарників для створення нанорозмірних структур. Електр.Зв’яз. [інтернет]. 28, Березень 2011 [цит. за 01, Серпень 2024];16(2):23-7. доступний у: https://elc.kpi.ua/old/article/view/268362