Мачулянський О, Борисова АВ, Родионов МК, Смілик В, Якименко Ю. Діелектричні плівки оксинітриду алюмінію отримані реактивним розпиленням. Електр.Зв’яз. [інтернет]. 15, Листопад 2015 [цит. за 01, Серпень 2024];20(3):31. доступний у: https://elc.kpi.ua/old/article/view/53591