Получение и исследование конденсату Al O с развитой поверхностью при реакционном ионном осаждении
##plugins.themes.bootstrap3.article.main##
Аннотация
Конденсат соединения алюминия и кислорода может создавать структуры с развитой поверхностью, где отсутствует кристаллическая фаза Al2O3, однако количество кислорода в таких конденсатах соответствует содержанию кислорода в Al2O3. Формирование таких конденсатов происходило в вакуумной среде, где алюминий испарялся с помощью термокатодной пушки при напуске кислорода в технологическую камеру. Толщина слоя находилась в пределах 3 – 16 мкм. Покрытия наносились на алюминиевую конденсаторную фольгу и пластины кремния. Полученные образцы исследовались с помощью растрового электронного микроскопа, проводился рентгеновский эмиссионный анализ с электронным возбуждением и измерялась удельная емкость образцов алюминиевой фольги, покрытой конденсатом Al‑O электролитическим способом. Концентрация кислорода в технологической камере влияла на тип микроструктур, которые создавались на поверхности. При ее увеличении происходил переход от кристаллитов к глобулам. Удельная емкость поверхности зависит от ее микроструктуры, так, в некоторых образцах она увеличилась в 2 – 10 раза, в отдельных случаях до 250 раз.
Библ. 7, рис. 5.
##plugins.themes.bootstrap3.article.details##
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
Авторы, публикующиеся в данном журнале, соглашаются со следующими условиями:- Авторы сохраняют за собой права на авторство своей работы и предоставляют журналу право первой публикации этой работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution License, которая позволяет другим лицам свободно распространять опубликованную работу с обязательной ссылокой на авторов оригинальной работы и оригинальную публикацию в этом журнале.
- Авторы сохраняют право заключать отдельные договора на неэксклюзивное распространение работы в том виде, в котором она была опубликована этим журналом (например, размещать работу в электронном архиве учреждения или публиковать в составе монографии), с условием сохраниения ссылки на оригинальную публикацию в этом журнале.
- Политика журнала разрешает и поощряет размещение авторами в сети Интернет (например в институтском хранилище или на персональном сайте) рукописи работы как до ее подачи в редакцию, так и во время ее редакционной обработки, так как это способствует продуктивной научной дискуссии и положительно сказывается на оперативности и динамике цитирования статьи (см. The Effect of Open Access).
Библиографические ссылки
V. Renne, Elektricheskie kondensatory [Electric Capacitors], Leningrad: Energiya, 1969.
S. D. Elliott; G. Scarel; C. Wiemer; M. Fanciulli; G. Pavia, "Ozone-Based Atomic Layer Deposition of Alumina from TMA: Growth, Morphology, and Reaction Mechanism," Chemistry of Materials, no. 18 (16), p. 3764–3773, 13 July 2006. DOI: 10.1021/cm0608903
G. Chukin, Stroenie oksida alyuminiya i katalizatorov gidroobesserivaniya. Mehanizmi reakciy [The structure of aluminum oxide and hydrodesulfurization catalysts. Mechanisms of reactions], Moscow, 2010. ISBN 5-9221-0312-1
Igor Levin; David Brandon, "Metastable Alumina Polymorphs: Crystal Structures and Transition Sequences," Journal of the American Ceramic Society, vol. 81, no. 8, p. 1995–2012, August 1998. DOI: 10.1111/j.1151-2916.1998.tb02581.x
I. V. Gusev; A. I. Kuzmichev; S. B. Sidorenko, «Harakteristiki pokrytij iz oksidirovannogo aljuminija, poluchennye reakcionnym ionnym osazhdeniem [Characteristics of coatings made of oxidized aluminum obtained by reactive ion deposition],» in VI Intern. Simpos. "Thin films in electronics", Moscow-Kiev-Kherson, 1995.
Rong Li; Longjiu Cheng, "Structural determination of (Al2O3)n (n = 1–7) clusters based on density functional calculation," Computational and Theoretical Chemistry, vol. 996, pp. 125-131, 15 September 2012. DOI: 10.1016/j.comptc.2012.07.027
L.S. Palatnik et al., «Strukturnye osobennosti i poristost' polikristallicheskih vakuumnyh kondensatov aljuminija [Structural features and porosity of polycrystalline vacuum condensates of aluminum],» Physics of metals and metallography, vol. 45, no. 6, pp. 1205-1212, 1978.
