Неосесимметричные радиальные колебания тонких пьезоэлектрических дисков

##plugins.themes.bootstrap3.article.sidebar##

pdf
Опубликован: Mar 28, 2011
DOI: https://doi.org/10.20535/2312-1807.2011.16.3.266783
Ключевые слова:
МЭМС, неосесимметрические радиальные колебания, тонкий пьезоэлектрический диск, моделирование, напряженно-деформированное состояние

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

А.В. Богдан
О.Н. Петрищев
Ю.И. Якименко
Ю.Ю. Яновская

Аннотация

В работе предложена методика математического моделирование неосесимметричных радиальных колебаний тонких дисков. Проведено моделирование нулевого решения задачи

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
Богдан, А. ., Петрищев, О. ., Якименко, Ю. ., & Яновская, Ю. . (2011). Неосесимметричные радиальные колебания тонких пьезоэлектрических дисков. Электроника и Связь, 16(3), 195–199. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2011.16.3.266783
Выпуск
Том 16 № 3 (2011)
Раздел
акустические приборы и системы
Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.

Авторы, публикующиеся в данном журнале, соглашаются со следующими условиями:

  1. Авторы сохраняют за собой права на авторство своей работы и предоставляют журналу право первой публикации этой работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution License, которая позволяет другим лицам свободно распространять опубликованную работу с обязательной ссылокой на авторов оригинальной работы и оригинальную публикацию в этом журнале.
  2. Авторы сохраняют право заключать отдельные договора на неэксклюзивное распространение работы в том виде, в котором она была опубликована этим журналом (например, размещать работу в электронном архиве учреждения или публиковать в составе монографии), с условием сохраниения ссылки на оригинальную публикацию в этом журнале.
  3. Политика журнала разрешает и поощряет размещение авторами в сети Интернет (например в институтском хранилище или на персональном сайте) рукописи работы как до ее подачи в редакцию, так и во время ее редакционной обработки, так как это способствует продуктивной научной дискуссии и положительно сказывается на оперативности и динамике цитирования статьи (см. The Effect of Open Access).

Библиографические ссылки

V. Varadan and V. K., Jose RF MEMS and theirapplication, Moscow: Technosphere, 2004, p. 528.

G. Piazza, P. J. Stephanou, and A. P. Pisano, “AlN Contour-Mode Vibrating RF MEMS for Next Generation Wireless Communications”, in 2006 European Solid-State Device Research Conference, Montreux, 2006, pp. 61–64.

S. Li, Y. Lin, Y. Xie, and C. Nguyen, “1.51 GHz polydiamond micromechanical disk resonator with impedance-mismatched isolating support”, in Proceedings, 17th Int. IEEE MEMS Conf., Maastricht, The Netherland, pp. 821–824.

Y.-W. Lin, S.-S. Li, Z. Ren, and C. T.-C. Nguyen, “Third-order intermodulation distortion in capacitively-driven VHF micromechanical resonators,” Proceedings, IEEE Int. Ultrasonics Symposium, Sept. 18-21, 2005, pp. 1592-1595

R. Ruby, “Micromachined cellular filters”, in 1996 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest, San Francisco, CA, USA, 1996, pp. 1149–1152.

K. Lakin, G. Kline, and K. McCarron, “Thin film bulk acoustic wave filters for GPS”, in IEEE 1992 Ultrasonics Symposium Proceedings, Tucson, AZ, USA, 1992, pp. 471–476. DOI: 10.1109/ULTSYM.1992.275963

W. Tang, “Piezoelectric micromechanical disk resonators towards UHF band”, in IEEE Ultrasonics Symposium, 2004, Montreal, Canada, 2004, pp. 926–929. DOI:10.1109/ULTSYM.2004.1417887

Z. Ren and C.-C. Nguyen, “1.156-GHz self-aligned vibrating micromechanical disk resonator”, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, vol. 51, no. 12, pp. 1607–1628, Dec. 2004. DOI:10.1109/TUFFC.2004.1386679

C. T.-C. Nguyen, “6I-4 Integrated Micromechanical Circuits Fueled By Vibrating RF MEMS Technology (Invited)”, in 2006 IEEE Ultrasonics Symposium, Vancouver, BC, Canada, 2006, pp. 953–962. DOI: 10.1109/ULTSYM.2006.224

C.-C. Nguyen, “MEMS technology for timing and frequency control”, in Proceedings of the 2005 IEEE International Frequency Control Symposium and Exposition, 2005., Vancouver, BC, Canada, 2005, pp. 1–11. DOI: 10.1109/FREQ.2005.1573895

Chi-Hung Huang, Yu-Chih Lin and Chien Ching Ma, "Theoretical analysis and experimental measurement for resonant vibration of piezoceramic circular plates," in IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, vol. 51, no. 1, pp. 12-24, Jan. 2004, doi: 10.1109/TUFFC.2004.1268463.

Chi-Hung Huang, "Resonant vibration investigations for piezoceramic disks and annuli by using the equivalent constant method," in IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, vol. 52, no. 8, pp. 1217-1228, Aug. 2005, doi: 10.1109/TUFFC.2005.1509780.

M. Shulga and V. Karlash, Resonance electromechanical if the bath of p'zoelectric plates, K .: Naukova Dumka, 2008, p. 270.

V. Novatsky, The theory of elastic guests, M.: Mir, 1975, p. 872.