Отримання та дослідження конденсату Al O з розвинутою поверхнею при реакційному іонному осадженні
Основний зміст сторінки статті
Анотація
Конденсат сполуки алюмінію та кисню може утворювати структури з розгалуженою поверхнею, де відсутня кристалічна фаза Al2O3, проте кількість кисню в таких конденсатах відповідає вмісту кисню в Al2O3. Формування таких конденсатів здійснювалось в вакуумному середовищі, де алюміній випаровувався за допомогою термокатодної гармати при напусканні кисню в технологічну камеру. Товщина шару сягала 3 – 16 мкм. Покриття наносились на алюмінієву конденсаторну фольгу та пластини кремнію. Отримані зразки досліджувались за допомогою растрового електронного мікроскопу, проводився рентгенівський емісійний аналіз з електронним збудженням та вимірювалась питома ємність зразків алюмінієвої фольги, покритої конденсатом Al‑O електролітичним методом. Концентрація кисню в технологічній камері впливала на тип мікроструктур, що утворюються на поверхні. При її збільшенні відбувався перехід від кристалітів до глобул. Питома ємність поверхні залежить від її мікроструктури, в деяких зразках вона збільшилась в 2 – 10 разів, а в окремих випадках до 250 разів.
Бібл. 7, рис. 5.
Блок інформації про статтю
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
Посилання
V. Renne, Elektricheskie kondensatory [Electric Capacitors], Leningrad: Energiya, 1969.
S. D. Elliott; G. Scarel; C. Wiemer; M. Fanciulli; G. Pavia, "Ozone-Based Atomic Layer Deposition of Alumina from TMA: Growth, Morphology, and Reaction Mechanism," Chemistry of Materials, no. 18 (16), p. 3764–3773, 13 July 2006. DOI: 10.1021/cm0608903
G. Chukin, Stroenie oksida alyuminiya i katalizatorov gidroobesserivaniya. Mehanizmi reakciy [The structure of aluminum oxide and hydrodesulfurization catalysts. Mechanisms of reactions], Moscow, 2010. ISBN 5-9221-0312-1
Igor Levin; David Brandon, "Metastable Alumina Polymorphs: Crystal Structures and Transition Sequences," Journal of the American Ceramic Society, vol. 81, no. 8, p. 1995–2012, August 1998. DOI: 10.1111/j.1151-2916.1998.tb02581.x
I. V. Gusev; A. I. Kuzmichev; S. B. Sidorenko, «Harakteristiki pokrytij iz oksidirovannogo aljuminija, poluchennye reakcionnym ionnym osazhdeniem [Characteristics of coatings made of oxidized aluminum obtained by reactive ion deposition],» in VI Intern. Simpos. "Thin films in electronics", Moscow-Kiev-Kherson, 1995.
Rong Li; Longjiu Cheng, "Structural determination of (Al2O3)n (n = 1–7) clusters based on density functional calculation," Computational and Theoretical Chemistry, vol. 996, pp. 125-131, 15 September 2012. DOI: 10.1016/j.comptc.2012.07.027
L.S. Palatnik et al., «Strukturnye osobennosti i poristost' polikristallicheskih vakuumnyh kondensatov aljuminija [Structural features and porosity of polycrystalline vacuum condensates of aluminum],» Physics of metals and metallography, vol. 45, no. 6, pp. 1205-1212, 1978.
