Отримання та дослідження конденсату Al O з розвинутою поверхнею при реакційному іонному осадженні

Sergii Borysovych Sydorenko

Анотація


Конденсат сполуки алюмінію та кисню може утворювати структури з розгалуженою поверхнею, де відсутня кристалічна фаза Al2O3, проте кількість кисню в таких конденсатах відповідає вмісту кисню в Al2O3. Формування таких конденсатів здійснювалось в вакуумному середовищі, де алюміній випаровувався за допомогою термокатодної гармати при напусканні кисню в технологічну камеру. Товщина шару сягала 3 – 16 мкм. Покриття наносились на алюмінієву конденсаторну фольгу та пластини кремнію. Отримані зразки досліджувались за допомогою растрового електронного мікроскопу, проводився рентгенівський емісійний аналіз з електронним збудженням та вимірювалась питома ємність зразків алюмінієвої фольги, покритої конденсатом Al‑O електролітичним методом. Концентрація кисню в технологічній камері впливала на тип мікроструктур, що утворюються на поверхні. При її збільшенні відбувався перехід від кристалітів до глобул. Питома ємність поверхні залежить від її мікроструктури, в деяких зразках вона збільшилась в 2 – 10 разів, а в окремих випадках до 250 разів.

Бібл. 7, рис. 5.


Ключові слова


конденсат Al – O; осадження алюмінію в середовищі кисню; шорсткі і пористі покриття; питома ємність; термоіонне осадження

Повний текст:

PDF

Посилання


V. Renne, Elektricheskie kondensatory [Electric Capacitors], Leningrad: Energiya, 1969.

S. D. Elliott; G. Scarel; C. Wiemer; M. Fanciulli; G. Pavia, "Ozone-Based Atomic Layer Deposition of Alumina from TMA: Growth, Morphology, and Reaction Mechanism," Chemistry of Materials, no. 18 (16), p. 3764–3773, 13 July 2006. DOI: 10.1021/cm0608903

G. Chukin, Stroenie oksida alyuminiya i katalizatorov gidroobesserivaniya. Mehanizmi reakciy [The structure of aluminum oxide and hydrodesulfurization catalysts. Mechanisms of reactions], Moscow, 2010. ISBN 5-9221-0312-1

Igor Levin; David Brandon, "Metastable Alumina Polymorphs: Crystal Structures and Transition Sequences," Journal of the American Ceramic Society, vol. 81, no. 8, p. 1995–2012, August 1998. DOI: 10.1111/j.1151-2916.1998.tb02581.x

I. V. Gusev; A. I. Kuzmichev; S. B. Sidorenko, «Harakteristiki pokrytij iz oksidirovannogo aljuminija, poluchennye reakcionnym ionnym osazhdeniem [Characteristics of coatings made of oxidized aluminum obtained by reactive ion deposition],» in VI Intern. Simpos. "Thin films in electronics", Moscow-Kiev-Kherson, 1995.

Rong Li; Longjiu Cheng, "Structural determination of (Al2O3)n (n = 1–7) clusters based on density functional calculation," Computational and Theoretical Chemistry, vol. 996, pp. 125-131, 15 September 2012. DOI: 10.1016/j.comptc.2012.07.027

L.S. Palatnik et al., «Strukturnye osobennosti i poristost' polikristallicheskih vakuumnyh kondensatov aljuminija [Structural features and porosity of polycrystalline vacuum condensates of aluminum],» Physics of metals and metallography, vol. 45, no. 6, pp. 1205-1212, 1978.




DOI: https://doi.org/10.20535/2312-1807.2017.22.3.104582

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Copyright (c) 2017 Sergiy Sydorenko

Creative Commons License
Ця робота ліцензована Creative Commons Attribution 4.0 International License.