Параметры роста и качество пленки зародышевого слоя ZnO. Часть 2

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

A. V. Bogdan
A. T. Orlov
V. A. Ulianova

Аннотация

Представлены результаты получения зародышевого слоя ZnO с помощью золь-гель мето-да при концентрациях золя 0,8 и 1,2 М на подложках кремния, на подложках кремния и ниоба-та лития с пленой алюминия. Показано, что с увеличением концентрации золя шероховатость пленки и диаметр зерна увеличиваются. Приведены результаты синтеза вертикальных стерж-невых структур ZnO на полученных тонких пленках зародышевого слоя с помощью метода гидротермального синтеза на подложках кремния. Определены диаметр и плотность синтези-рованных стержневых структур ZnO, показана зависимость таких геометрических параметров стержневых структур от свойств зародышевого слоя. Полученные результаты могут быть ис-пользованы для создания сенсоров на акустических волнах и наноразмерных приборов.

Библ. 5, рис. 5.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
Bogdan, A. V., Orlov, A. T., & Ulianova, V. A. (2013). Параметры роста и качество пленки зародышевого слоя ZnO. Часть 2. Электроника и Связь, 18(2), 16–21. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2013.18.2.173998
Раздел
Твердотельная электроника

Библиографические ссылки

Bai Shr-Nan, Synthesis of ZnO nanowires by the hydrothermal method,using sol–gel prepared ZnO seed films / Shr-Nan Bai, Shich-Chuan Wu // J Mater Sci: Mater Electron. – 2011. – 22. – P. 339–344.

Bogdan A., Orlov A., Ulianova V., Growing parameters and quality of ZnO seed-layer film (Part 1) / A. Bogdan, A. Orlov, V. Ulianova // Electronics and Communications. –2012. – №6.

Ilican S., Preparation and characterization of ZnO thin filmsdeposited by sol-gel spin coating method / S. Ilican, Y. Caglar, M. Caglar // Journal of optoelectronics and advanced materials. – 2008. – Vol. 10, No. 10. – P. 2578 – 2583.

Lu Yicheng, Multifunctional Biosensor Based on ZnO Nanostructures / Lu Yicheng // Acoust. Soc. Am. – 2012. – Vol. 131, Issue 2, – P. 1667-1667.

Raoufi D., Raoufi T., The effect of heat treatment on the physical properties of sol-gel derived ZnO thin films / Davood Raoufi, Taha Raoufi // Applied surface science. – 2009. – Vol. 225. – P. 5812-5817.