Особенности возникновения и развития импульсного магнетронного разряда

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

к.т.н. Анатолий Иванович Кузьмичёв
В. И. Крыжановский
С.М. Дяченко

Аннотация

Проведены исследования импульсного магнетронного разряда. Установлена физическая картина процесса его возникновения и развития, а также факторы, влияющие на него. Выявлены две фазы развития разряда – медленная слаботочная и быстрая сильноточная. Определены пути достижения высокой стабильности временных параметров возникновения и формирования разряда. Полученные результаты позволяют выбирать оптимальные режимы цепи подготовительного разряда и импульсов генератора, обеспечивающие стабильную работу электронных приборов и устройств на импульсном магнетронном разряде.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
Кузьмичёв, А. И., Крыжановский, В. И., & Дяченко, С. . (2012). Особенности возникновения и развития импульсного магнетронного разряда. Электроника и Связь, 16(6), 5–10. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2011.16.6.240309
Раздел
вакуумная, плазменная и квантовая электроника

Библиографические ссылки

P. A. Redhead, “The Townsend discharge in a coaxial diode with axial magnetic field,” Can. J. Phys., vol. 36, no. 3, pp. 255–270, 1958. DOI: 10.1139/p58-030

Goncharov O.A., Dobrovol'skyi A.M., Evsyukov A.M., Protsenko I.M., Litovko I.V., “New Vision of the Physics of Gas Magnetron-type Discharges,” Ukr. J. Phys., vol. 54, no 1-2, pp.63-67, 2009

[1]A. Kuzmichev, O. Volpyan, and A. Samokish, “Sovremennyye opticheskiye plonochnyye pokrytiya [Modern optical film coatings]”, Electronics and communication, vol. 46, no. 5, pp. 5–20, Jan. 2008.

Kuzmichev A.I., Magnetronnyye raspylitel'nyye sistemy [Magnetron Spray Systems], Kyiv: Avers, 2008, p. 168. ISBN 966-8934-07-5

[1]S. Denbnovetskiy, R. Hippler, A. Kuzmichev, V. Kulikovskiy, S. Nisimov, and S. Sidorenko, “Zapazdyvaniye vozniknoveniya razryada v impul’snykh magnetronnykh raspylitel’nykh ustroystvakh [Delay in the onset of a discharge in pulsed magnetron spray devices]”, Electronics and communication, no. 8, pp. 195–198, Jan. 2000.

[1]A. Kuzmichev and A. Shendakov, “O regulyarnykh kolebaniyakh v tleyushchem razryade so skreshchennymi polyami [Regular oscillations in a glow discharge with crossed fields]”, Zhurnal tekhnicheskoy fiziki, vol. 45, no. 6, pp. 1349–1350, Jan. 1975.