Плазменные системы высокого давления с микроструктурированными електродами. Часть 1. Физические основы генерации нетермической плазмы при атмосферном давлении

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

A. I. Kuzmichev
R. Y. Chaplinskiy

Аннотация

В данной работе рассмотрены физические основы генерации нетермической неравновесной плазмы при атмосферном давлении. Показано, что такую плазму предпочтительнее всего получать в системах с микроструктурированными электродами, это даёт возможность распределить разряд по разрядному промежутку и повысить эго однородность. Однако не менее важным является получение стабильного плазменного объёма, поэтому в работе также рассмотрены методы стабилизации газовых разрядов при помощи формы питающего напряжения и продувки разрядного промежутка рабочим газом.

Библ. 8, рис. 3

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
Kuzmichev, A. I., & Chaplinskiy, R. Y. (2014). Плазменные системы высокого давления с микроструктурированными електродами. Часть 1. Физические основы генерации нетермической плазмы при атмосферном давлении. Электроника и Связь, 19(3), 21–26. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2014.19.3.141285
Раздел
вакуумная, плазменная и квантовая электроника

Библиографические ссылки

Bogaerts A., Neyts E., Gijbels R., Mullen J. V. (2002), “Gas discharge plasma and their applications”.

Spectrochemica Acta Part B. Vol. 57, pp. 609-658.

Fridman A. (2008), “Plasma Chemistry”. New York: Cambridge University Press. P. 978.

Kunhardt E.E. (2000), “Generation of large-volume, atmospheric-pressure, nonequilibrium plasmas”.

IEEE Trans. Plasma Sci. Vol. 28, no 1, pp. 189-200.

Sch¨utze A., Jeong J.Y., Babayan S.E., Park J., Selwyn G.S., Hicks R.F. (1998), “The Atmospheric

Pressure Plasma Jet: A Review and Comparison to Other Plasma Sources”. IEEE Trans. Plasma Sci.

Vol. 26, no 6, pp. 1685-1695.

Vereschagin I.P. (1985), “Corona discharge apparatus in electron-ion technology”. Moskva, Energoa

tomizdat. P 160. (Rus)

Mik Dzh., Krеhs Dzh. (1960), “Electrical breakdown in gases”. Mоskvа, Izdаtеl’stvо inоstrаnnоj

litеrаtury. P. 605. (Rus)

Rаjzеr Yu.P. (2009), “Gas discharge physics”. Dоlhоprudnyj, Izdаtеl’skij Dоm «Intеlеkt». P 736. (Rus)

Sаmоjlоvich V.H. , Hibаlоv V.I. , Kоzlоv K.V. (1989), “Physical chemistry of the barrier discharge”.

Moskva, Izd. MHU. P 176. (Rus)