Прецизионное управление параметрами импульсных газоразрядных источников электронов

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

P. І. Кrаvеz
S. B. Тugаi

Аннотация

В статье приводятся результаты компьютерного моделирования двухканальной системы управления триодной электронно-лучевой пушкой высоковольтного тлеющего разряда технологического назначения в импульсном режиме работы.

Для построения адекватной модели были использованы экспериментально полученные параметры реальных устройств, входящих в технологическое оборудование. Полученные в результате параметры системы управления были использованы для создания экспериментального макета и проведены исследования его работы.

Предложенная система управления параметрами электронного пучка технологической триодной газоразрядной пушки высоковольтного тлеющего разряда обеспечила проведение технологического процесса нанесения покрытия из Al2O3 в импульсном режиме с высокими показателями качества и может быть использована для проведения других технологических операций с импульсными газоразрядными источниками электронов.

Библ. 7, рис. 7.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
Кrаvеz P. І., & Тugаi S. B. (2013). Прецизионное управление параметрами импульсных газоразрядных источников электронов. Электроника и Связь, 18(4), 21–27. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2013.18.4.158020
Раздел
вакуумная, плазменная и квантовая электроника

Библиографические ссылки

Denbnovetsky S.V., Melnyk V.G., Melnyk I.V. (2003), “High voltage glow discharge electron sources and possibilities of its application in industry for realising of different technological operations”. IEEE Transactions on plasma science. Vol. 31, No.5, October, Pp. 987-993.

Ladohyn S.V., Levytskyy N.I., Chernyavskyy V.B., Lapshuk T.V., Shmyhydean V.G., Kravchuk L.A., Gladkov A.S. (2007), “Electron-luchevaya plavka v lytejnom proyzvodstve”. K. "Stal", p. 605. (RUS)

Rykalin N.N., Zuev I.V., Uglov A.A. (1978), “Osnovy electron lychevoy obrabotki materialov”. M. Mashinostroenie, p. 239. (RUS)

Denbnovetsky S.V, Melnik V.I., Melnik I.V., Tugay B.A. (1998), “Investigation of forming of electron beam in glow discharge electron guns with additional electrode”. XVIII-th International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum, August 17-21, Eindhoven, The Netherlands, Proceedings, Vol.2. Pp. 637-640.

Zavyalov M.A., Kreindel Y.E., Novikov A.A., Shanturin L.P. (1989), “Plasmennie procesi v technologicheskih electronnih pushkah”. M. Atomizdat, P. 256. (RUS)

A.S. Kluev, A.T. Lebedev, S.A. Kluev. (1989), “Naladka sredstv avtomatizacii I avtomaticheskih system regulirovania: Spravochnoe posobie”. Tovarnoe; Pod red. A.S. Klueva. 2-e izd., pererab. I dop. M.: Energoatomizdat, P. 368. (RUS)

Denisenko V.V. (2009), “Komputernoe upravlenie technologicheskim procesom, eksperimentom, oborudovaniem”. M. Goryachaya liniya – Telekom, P. 608. (RUS)