Исследование влияния состояния поверхности кремниевых зондов для атомно-силовой микроскопии на точность и качество получаемых топограмм
##plugins.themes.bootstrap3.article.main##
Аннотация
Результаты проведенных в работе исследований влияния состояния поверхности кремниевых зондов Ultrasharp CSC12 для АСМ на точность и качество получаемых топограмм позволили установить предельныйсрок их эксплуатации до полного разрушения, который составляет 80-115 минут. Исследования в данной работе проводились с применением методов РЭМ (JEOL JSM6700F) и ACM (NT-206). Показана возможность модификации поверхностей зондов, прошедших интенсивную эксплуатацию, осаждением на них тонких (порядка 5...8 нм) покрытий с дальнейшей электронной обработкой. Данная модификация приводит к частичному восстановлению их эксплуатационных свойств (снижает вероятность возникновения артефактов сканирования на 20...22%, увеличивает срок эксплуатации на 20 минут) и может служить основой технологии повышения износостойкости и эксплуатационной пригодности зондов для АСМ
##plugins.themes.bootstrap3.article.details##
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
Авторы, публикующиеся в данном журнале, соглашаются со следующими условиями:- Авторы сохраняют за собой права на авторство своей работы и предоставляют журналу право первой публикации этой работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution License, которая позволяет другим лицам свободно распространять опубликованную работу с обязательной ссылокой на авторов оригинальной работы и оригинальную публикацию в этом журнале.
- Авторы сохраняют право заключать отдельные договора на неэксклюзивное распространение работы в том виде, в котором она была опубликована этим журналом (например, размещать работу в электронном архиве учреждения или публиковать в составе монографии), с условием сохраниения ссылки на оригинальную публикацию в этом журнале.
- Политика журнала разрешает и поощряет размещение авторами в сети Интернет (например в институтском хранилище или на персональном сайте) рукописи работы как до ее подачи в редакцию, так и во время ее редакционной обработки, так как это способствует продуктивной научной дискуссии и положительно сказывается на оперативности и динамике цитирования статьи (см. The Effect of Open Access).
Библиографические ссылки
V. Mironov, Fundamentals of scanning probe microscopy: textbook, Nizhny Novgorod: RASIFM, 2004, p. 114.
A. . Suslov and S. . Chizhik, “Scanning probe microscopes (review)”, Materials. Technology, Tools., vol. 2, no. 3, pp. 78–89, Jan. 1997.
A. Suslov, “Atomic force microscope NT206: new opportunities”, in Collection of reports of the 6th Belarusian seminar on scanning probe microscopy "BelSZM-6", pp. 123–130.
M. . Bondarenko and Y. . Bondarenko, “Formation of ordered fine structures on the surfaces of piezoceramicelements combined electronicmethod”, Vyunik of the Cherkasy State Technological University.Special release, pp. 122–123, Jan. 2008.
M. Bondarenko, “Study of forming terms thindiamond similar nanostructures thermal vacuum-depositing”, VisnikCherkasy State TechnologicalUniversity, pp. 114–116, Jan. 2009.
M. Bondarenko, “Formation of ordered nanostructureson the piezoelectric ceramics of the system PZT by vacuum thermal deposition”, in Proceedings of the Tenth Anniversary International Industrial Conference, Slavske village, Lviv region, Karpaty, pp. 159–160, February 18-22, 2010
S. Shelestovskaya, M. Bondarenko, A. Kotlyar, P. Petlevany, and P. Kurylenko, “Formation of ordered nanostructures on surfacessilicon probes for atomic forcemicroscopy by combined thermal vacuum method”, in Collection of reports of the IX International Conference “Methodological aspects of scanning probe microscopy “BelSZM-9””, Minsk, pp. 162–168.
J. Brandon and W. Kaplan, Microstructure of materials. Methodsresearch and control, M: Technosphere, 2004, p. 384.
