Принципы построения математических моделей микроэлектромеханических резонаторов балочного типа
##plugins.themes.bootstrap3.article.main##
Аннотация
Сформулировано определение математической модели МЭМС – резонатора балочного типа. Изложены принципы моделирования физического состояния элементов МЭМС. Описана цепочка вычислительных процедур, опирающихся на фундаментальные положения механики и теории электрических явле- ний, последовательное выполнение которых позволяет построить математическую модель резонатора. Показано, что частотно зависимые свойства МЭМС – резонатора полностью определяются механическими смещениями материальных частиц поляризованного сегнетоэлектрика подвижной части стержня. Приведена методика расчета продольного компонента вектора смещения подвижной части МЭМС – резонатора, которая учитывает реакцию опор стержня
##plugins.themes.bootstrap3.article.details##
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
Авторы, публикующиеся в данном журнале, соглашаются со следующими условиями:- Авторы сохраняют за собой права на авторство своей работы и предоставляют журналу право первой публикации этой работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution License, которая позволяет другим лицам свободно распространять опубликованную работу с обязательной ссылокой на авторов оригинальной работы и оригинальную публикацию в этом журнале.
- Авторы сохраняют право заключать отдельные договора на неэксклюзивное распространение работы в том виде, в котором она была опубликована этим журналом (например, размещать работу в электронном архиве учреждения или публиковать в составе монографии), с условием сохраниения ссылки на оригинальную публикацию в этом журнале.
- Политика журнала разрешает и поощряет размещение авторами в сети Интернет (например в институтском хранилище или на персональном сайте) рукописи работы как до ее подачи в редакцию, так и во время ее редакционной обработки, так как это способствует продуктивной научной дискуссии и положительно сказывается на оперативности и динамике цитирования статьи (см. The Effect of Open Access).
Библиографические ссылки
V. Varadhan, K. Vinoy, and K. Jose, RF MEMS andtheir application, Technosphere, 2004, p. 528.
M. Lematre, L.-P. Tran-Huu-Hue, and G. Feuillard, “Modeling and numerical study of the electroacoustic behavior in integrated piezoelectric structures under external mechanical stress”, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, vol. 56, no. 5, pp. 1085–1099, May 2009.
J.-H. Park, B.-H. Cho, S.-J. Choi, and S.-M. Lee, “Analysis of the Thermal Balance Characteristics for Multiple-Connected Piezoelectric Transformers”, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, vol. 56, no. 8, pp. 1617–1626, Aug. 2009.
V. Loyau and F. Costa, “Analyses of the Heat Dissipated by Losses in a Piezoelectric Transformer”, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, vol. 56, no. 8, pp. 1745–1752, Aug. 2009.
W. Cady, Piezoelectricity and its practical applicationssome applications, Moscow: IL, 1949, p. 718.
K. Vlasov, “Some questions of the theory of elastic ferromagnetic (magnetostrictive) media”, Izv. Academy of Sciences of the USSR. Ser. physicalsky, vol. 21, no. 8, pp. 1140–1148, 1957.
G. Racah, Determinazione del numero dei tensoriisotropi independenti di rango n, Rend.Acad. Linc., 1933, pp. 386–389.
L. Kantorovich and V. Krylov, Approximate methods of higher analysis, Moscow – Leningrad: GITTLE, 1950, p. 695.
