Принципи побудови математичних моделей мікроелектромеханічних резонаторів балкового типу
Основний зміст сторінки статті
Анотація
Сформульовано визначення математичної моделі МЕМС – резонатора балкового типу. Викладено принципи моделювання фізичного стану елементів МЕМС. Описано ланцюжок обчислювальних процедур, що спираються на фундаментальні положення механіки та теорії електричних явищ, послідовне виконання яких дозволяє побудувати математичну модель резонатора. Показано, що частотно залежні властивості МЕМС – резонатора повністю визначаються механічними усуненнями матеріальних частинок поляризованого сегнетоелектрика рухомої частини стрижня. Наведено методику розрахунку поздовжнього компонента вектора зміщення рухомої частини МЕМС – резонатора, яка враховує реакцію опор стрижня
Блок інформації про статтю
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
Посилання
V. Varadhan, K. Vinoy, and K. Jose, RF MEMS andtheir application, Technosphere, 2004, p. 528.
M. Lematre, L.-P. Tran-Huu-Hue, and G. Feuillard, “Modeling and numerical study of the electroacoustic behavior in integrated piezoelectric structures under external mechanical stress”, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, vol. 56, no. 5, pp. 1085–1099, May 2009.
J.-H. Park, B.-H. Cho, S.-J. Choi, and S.-M. Lee, “Analysis of the Thermal Balance Characteristics for Multiple-Connected Piezoelectric Transformers”, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, vol. 56, no. 8, pp. 1617–1626, Aug. 2009.
V. Loyau and F. Costa, “Analyses of the Heat Dissipated by Losses in a Piezoelectric Transformer”, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, vol. 56, no. 8, pp. 1745–1752, Aug. 2009.
W. Cady, Piezoelectricity and its practical applicationssome applications, Moscow: IL, 1949, p. 718.
K. Vlasov, “Some questions of the theory of elastic ferromagnetic (magnetostrictive) media”, Izv. Academy of Sciences of the USSR. Ser. physicalsky, vol. 21, no. 8, pp. 1140–1148, 1957.
G. Racah, Determinazione del numero dei tensoriisotropi independenti di rango n, Rend.Acad. Linc., 1933, pp. 386–389.
L. Kantorovich and V. Krylov, Approximate methods of higher analysis, Moscow – Leningrad: GITTLE, 1950, p. 695.
