Применение импульсного магнетронного распыления для получения оптических метапокрытий с продольным наноградиентом показателя преломления

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

А.И. Кузьмичёв
О.Д. Вольпян

Аннотация

Рассмотрены классификация оптических метапокрытий и целесообразность применения магнетронного распыления для их получения. Показана перспективность применения импульсного (среднечастотного) реакционного магнетронного распыления для получения оптических покрытий с продольным наноградиентом показателя преломления, подтверждённая примером изготовления просветляющего покрытия с хорошими характеристиками для лазерной техники.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
Кузьмичёв, А. ., & Вольпян, О. (2010). Применение импульсного магнетронного распыления для получения оптических метапокрытий с продольным наноградиентом показателя преломления. Электроника и Связь, 15(2), 28–33. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2010.15.2.306902
Раздел
Наноструктуры и нанотехнологии в электронике

Библиографические ссылки

E. Ozbay, “The Magical World of Photonic Metamaterials”, Optics and Photonics News, vol. 19, no. 11, p. 22, Nov. 2008. DOI:10.1364/OPN.19.11.000022

O. Volpyan, A. Kuzmichev, and A. Samokish, “Modern optical film coatings”, Electronics and communications, vol. 46, no. 5, pp. 5–19, 2008.

O. Volpyan and A. Kuzmichev, “Experience of applying optical laser coatings by magnetron method. Problem of obtaining gradient coatings”, in In: Proc. III Int. scientific-technical. conf. “Vacuumengineering , materials and technology”, 2008, pp. 42–43.

E. Konyukhova, A. Kuzmichev, Y. Obod, O. Volpian, and P. Yakovlev, “Optical metacoatingson the base of nanogradient reactivemagnetron sputtered thin dielectric layer”, in Abstracts of Int. Workshop on Optics, Photonicsand Metamaterials “OPAM-2009”, 2009, pp. 27–28.

M. Born and E. Wolf, Fundamentals of Optics, Moscow: Science, 1973, p. 856.

C. Gomez-Reino, M. V. Perez, and C. Bao, Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 2002. DOI:10.1007/978-3-662-04741-5

L. Gubanova, Gradient interference systems, Abstract of dissertation for the degree of Doctor of Technical Sciences, St. Petersburg, 2008, p.48

E. Yablonovitch, “Photonic crystals: what’s in aname”, Opt. and Photonic News, no. 3, pp. 12–13, 2007.

A. Belyanin, E. Grebennikov, V. Zhitkovsky, and M. Samoylovich, Nanomaterials. III. Photonic crystals and nanocomposites based on opal matrices, Moscow: TsNITI “Tekhnomash”, 2007, p. 299.

A. Boltasseva and V. M. Shalaev, “Fabrication of optical negative-index metamaterials: Recent advances and outlook”, Metamaterials, vol. 2, no. 1, pp. 1–17, May 2008. DOI:10.1016/j.metmat.2008.03.004

O. Volpyan and A. Kuzmichev, “Issues of technology of nanostructured photonic metamaterials”, Electronics and communications, no. 2-3, pp. 50–55, 2009.

A. Shvartsburg, M. Agranat, and O. Chefonov, “Nano-optics of gradient dielectric films”, Quantum Electronics, vol. 39, no. 10, pp. 948–952, 2009.

D. R. Smith, J. J. Mock, A. F. Starr, and D. Schurig, “Gradient index metamaterials”, Physical Review E, vol. 71, no. 3, Mar. 2005. DOI:10.1103/PhysRevE.71.036609

O. Volpyan and A. Kuzmichev, “Increasing the efficiency of ion technology of optical coatings using pulsed magnetron sputtering systems with a secondary emission cathode”, Electronics and Communications, no. 4, pp. 29–35, 2007.

O. Volpyan, A. Kuzmichev, Y. Obod, and P. Yakovlev, “Obtaining optical nanogradient metacoatings by reactive magnetron sputtering”, in Proc. 15th Int. Conf. “High Technologies in Russian Industry – Materials and Devices for Functional Electronics and Microphotonics” and 22nd Int. Symp. “Thin Films in Electronics”, 2009, pp. 447–450.