Плазменные системы высокого давления с микроструктурированными электродами. Часть 2. Конструкции микроструктурированных электродных систем для генерации нетермической неравновесной плазмы при атмосферном давлении

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

R. Y. Chaplinskiy
Anatoly Ivanovitch Kuzmichev

Аннотация

В работе описаны конструктивные особенности микроструктурированных электродных систем, таких как: система для генерации мультикоронного разряда, система в виде пчелиных сот, система с пилообразным электродом и система для генерации компланарного барьерного разряда, система для генерации капиллярного разряда, система для генерации микроструктурированного полокатодного разряда, система для генерации плазменного потока при атмосферном давлении и система с плазменными электродами. В работе также рассмотрено ряд перспективных областей применения таких систем. Библ. 25, рис. 9, табл. 1.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
Chaplinskiy, R. Y., & Kuzmichev, A. I. (2014). Плазменные системы высокого давления с микроструктурированными электродами. Часть 2. Конструкции микроструктурированных электродных систем для генерации нетермической неравновесной плазмы при атмосферном давлении. Электроника и Связь, 19(4), 36–44. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2014.19.4.35530
Раздел
вакуумная, плазменная и квантовая электроника

Библиографические ссылки

Akishev Yu.S., Aponin G.I., Karal'nik V.B., Monich A.E., Trushkin N.I. (2004), “Phenomenology of a high-current negative point-to-plane corona in nitrogen”. Plasma Physics Reports. Vol. 30, no. 9, pр. 779-787.

Antoniuk D.M., Seguin H.J.J., Capjack C.E. (1984), “Electrode design for a magnetically stabilized glow discharge”. Appl. Phys. B. Vol. 35, pp 155-162.

Becker K. H., Kogelschatz U., Barker R. J. and Schoenbach K. H (2004), “Non equilibrium air plasma at atmospheric pressure”. London, IOP Publishing. P. 682.

Fridman A. (2008), “Plasma Chemistry”. New York: Cambridge University Press. P 978.

Jodzis S., Smoli´nski T., Sówka P. (2011), “Ozone Synthesis Under Surface Discharges in Oxygen: Application of a Concentric Actuator”. IEEE Trans. Plasma Sci. Vol. 39, no. 4, pp. 1055-1060

Kaneda S., Hayashi N., Ihara S., Satoh S., Yamabe C. (2004), “Application of dielectric material to double-discharge-type ozonizer”. Vacuum. Vol. 73, pр. 567-571.

Kunhardt E.E. (2000), “Generation of large-volume, atmospheric-pressure, nonequilibrium plasmas”. IEEE Trans. Plasma Sci. Vol. 28, no. 1, pp.189-200.

Muller S., Conrads J., Best W. (2000), “Reactor for decomposing soot and other harmful substances contained in flue gas”. Proc. of Int. Symp. High Pressure Low Temperature Plasma Chemistry (Hakone VII). Vol. 2, pp 340-344.

Park Soo-Ho, Cho Tae-Seung, Becker Kurt H., Kunhardt Erich E (2009), “Capillary plasma electrode discharge as an intense and efficient source of vacuum ultraviolet radiation for plasma display”. IEEE Trans. Plasma Sci. Vol. 37, no. 8, pp.1611-1614.

Penetrante B.M., Brusasco R. M., Merritt B. T., Vogtlin G. E (1999), “Environmental application of low temperature plasmas”. Pure Appl. Chem. Vol. 71, № 10, pp. 1829-1835.

Roth J.C. (2004) “Prospective industrial applications of the one atmosphere uniform glow discharge plasma”. 39th IAS Annual Meeting of Industry Applications Conference.

Rutgers W. R., van Velthaizen E.M. (2000), “Pulsed corona discharge for gas and waste water treatment”. Proc. Int. Conf. HAKONE VII. Vol. 2, pp. 335-339.

Sch¨utze A., Jeong J.Y., Babayan S.E., Park J., Selwyn G.S., Hicks R.F. (1998), “The Atmospheric- Pressure Plasma Jet: A Review and Comparison to Other Plasma Sources”. IEEE Trans. Plasma Sci. Vol. 26, no. 6, pp. 1685-1695.

Schoenbach K.H., EL-Habachi A., Shi W. Ciocca M. (1997), “High-pressure hollow cathode discharges”. Plasma Sources Sci. Technol. Vol. 6, pр. 468-477.

Sobel A. (1991), “Plasma Displays”. IEEE Trans. Plasma Sci. Vol. 19, no. 6, pp.1032-1047.

Wieneke S., Viol W. (2000), “Gas lasers exited by silent discharge”. Proc. Int. Conf. HAKONE VII. Vol.1, pp. 8-12.

Yamada M., Ehara Y., Ito T. (1999) “The influence of saw tooth shaped electrode from on NOx treatment by trenched type discharge reactor”. Papers of Technical Meeting on Electrical Discharges, IEE Japan. Vol. ED-99, pр. 94-108.

Zvereva G. (2002) “Investigation of Kr gas discharge plasma as a possible laser medium”. Proc. Int. Conf. HAKONE IX.

Ukrainian Patent № u201307319.

Kireev V.Yu., Danilin B.S., Kuznetsov V.I. (1983), “Plasma-chemical and ion-chemical etching of microstructures”. Moskva: Radio i sviaz, P. 128. (Rus)

Kruzshanivskiy V.I., Kuzmichev A.I., Chaplinskiy R.Yu. (2010), “Plasma reactors to generate ozone for corona discharge with secondary electron emitters”. Naukovi visti NTUU “KPI”, no. 5, pp. 5-9. (Ukr)

Kuzmichev A.I., Chaplinsky R.Y. (2014) “Plasma high-pressure system with microstructured electrodes. Part One. Physical basis of generating non-thermal plasma at atmospheric pressure”. Electronics and Communications, no 3. (Rus)

Leb L. (1950), “Basic processes of electrical discharges in gases”. Moskva, Leningrad, Hоsudаrstvеnnое izdаtеl’stvо tеоrеtikо-tеkhnichеskоj litеrаtury. P 672. (Rus)

Samoylovich V.G. Gibalov V.I., Kozlov K.V. (1989), Physical chemistry of the barrier discharge, Moscow, Publishing House MSU. P 176.

Filippоv Yu.V., Vоblikоvа V.А., Pаntеlееv V.I. (1987), “Electrosynthesis of ozone” Mоskvа, Izd. MSU. (Rus)