Измерение СВЧ параметров диэлектрических материалов методом тонкого диэлектрического резонатора

##plugins.themes.bootstrap3.article.sidebar##

PDF (Українська)
Опубликован: Jul 23, 2015
DOI: https://doi.org/10.20535/2312-1807.2015.20.1.38354
Ключевые слова:
диэлектрическая проницаемость, тангенс угла диэлектрических потерь, диэлектрический резонатор, СВЧ параметры, чувствительность метода

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

Віталій Іванович Молчанов
Національний технічний університет України "КПІ"
Валерій Маркович Пашков
Національний технічний університет України "КПІ"
Дмитро Дмитрович Татарчук
Національний технічний університет України "КПІ"
https://orcid.org/0000-0003-1171-6701
Антон Сергійович Франчук
Національний технічний університет України "КПІ"
https://orcid.org/0000-0002-8350-564X

Аннотация

В статье рассмотрен метод тонкого диэлектрического резонатора для измерения СВЧ параметров диэлектрических материалов, его преимущества и недостатки. Показано, что предложенный метод имеет высокую чуствительность и может быть использован для измерения параметров тонких диэлектрических пленок, нанесенных на подложку. Библ. 7, рис. 4.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
Молчанов, В. І., Пашков, В. М., Татарчук, Д. Д., & Франчук, А. С. (2015). Измерение СВЧ параметров диэлектрических материалов методом тонкого диэлектрического резонатора. Электроника и Связь, 20(1), 23. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2015.20.1.38354
Выпуск
Том 20 № 1 (2015)
Раздел
Твердотельная электроника
Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.

Авторы, публикующиеся в данном журнале, соглашаются со следующими условиями:

  1. Авторы сохраняют за собой права на авторство своей работы и предоставляют журналу право первой публикации этой работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution License, которая позволяет другим лицам свободно распространять опубликованную работу с обязательной ссылокой на авторов оригинальной работы и оригинальную публикацию в этом журнале.
  2. Авторы сохраняют право заключать отдельные договора на неэксклюзивное распространение работы в том виде, в котором она была опубликована этим журналом (например, размещать работу в электронном архиве учреждения или публиковать в составе монографии), с условием сохраниения ссылки на оригинальную публикацию в этом журнале.
  3. Политика журнала разрешает и поощряет размещение авторами в сети Интернет (например в институтском хранилище или на персональном сайте) рукописи работы как до ее подачи в редакцию, так и во время ее редакционной обработки, так как это способствует продуктивной научной дискуссии и положительно сказывается на оперативности и динамике цитирования статьи (см. The Effect of Open Access).
Биография автора

Дмитро Дмитрович Татарчук, Національний технічний університет України "КПІ"

Кафедра мікроелектроніки, доцент

Библиографические ссылки

Y.V. Didenko, V.I. Molchanov, V.M. Pashkov, D.D. Tatarchuk, D.A. Shmygin (2014), Microwave methods of measuring the parameters of dielectric materials on the basis of the composite dielectric resonator. Electronics and Communications. Vol. 19. No. 6 (83). Pp. 14-20. (Rus).

Tatarchuk D.D. (2002), Measuring parameters of microwave dielectric materials by the method of EType dielectric resonator. Electronics and Communications. No.14. Pp. 22-23. (Ukr).

V. Pashkov, V. Bovtun, Y. Prokopenko, M. Kempa, V. Molchanov, et al. (2009), Measurement of dielectric films microwave parameters. Microwave & Telecommunication Technology (CriMiCo’2009): Proc. of 19th Int. Crimean Conf. (Sept. 2009, Sevastopol, Ukraine). Sevastopol, Pp. 769–770.

V. Bovtun, V. Pashkov, M. Kempa, S. Kamba, et al. (2011), An electrode-free method of characterizing the microwave dielectric properties of high-permittivity thin films. J. Appl. Phys. Vol. 109. 024106. Pp. 1–6.

V. Bovtun, V. Pashkov, M. Kempa, et al. (2011), Thin dielectric resonatots for microwave characterization of films and substrates. Microwave & Telecom Technology (CriMiCo’2011): Proc. of 21st Int. Crimean Conf. (Sept. 2011, Sevastopol, Ukraine). Sevastopol, Pp. 620–621.

Tatarchuk D.D. (2000), The quality factor of the rectangular combined resonators with E-type oscillations. Sciences. news NTU "KPI". No 2. Pp. 9-12. (Ukr)

V.I. Molchanov, D.D. Tatarchuk. (2008), Inhomogeneities in the microwave dielectric structures. Electronics and Communications. No. 6 (47). Pp. 10-14. (Rus)