Упрощенная модель тонкопленочного резонатора для применения в фильтрах высокого порядка

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

Андрій Ігорович Зазерін
Анатолій Тимофі́йович Орлов
А. В. Богдан

Аннотация

В работе представлена разработанная авторами модель тонкопленочного пьезоэлектрического резонатора с двумя электродами, основанная на применении многоконтурных схем замещения. Благодаря упрощенности структуры, данная модель может быть легко интегрирована в большинство современных САПР и позволит с высокой точностью определять выходные характеристики резонатора в относительно широком частотном диапазоне, что особенно важно при моделировании фильтров высокого порядка на базе резонаторов. Проведена верификация модели, включающая анализ частотной зависимости входного импеданса в узком и широком частотных диапазонах, а также исследование согласованности модели при использовании различных материалов активного слоя и электродов. Важным преимуществом предложенной модели является увеличение эффективности расчета и оптимизации сложных схем с применением большого количества резонаторов за счет сокращения времени расчета. Библ . 8, рис. 12, табл. 1.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
Зазерін, А. І., Орлов, А. Т., & Богдан, А. В. (2015). Упрощенная модель тонкопленочного резонатора для применения в фильтрах высокого порядка. Электроника и Связь, 20(2). https://doi.org/10.20535/2312-1807.2015.20.2.47718
Раздел
Твердотельная электроника

Библиографические ссылки

Nelson A. et al. (2011), A 22μW, 2.0GHz FBAR oscillator. IEEE Radio Frequency Integrated Circuits Symposium (RFIC). Baltimore, MD: IEEE, Pp. 1–4.

Yakimenko Y. et al. (2014), Film bulk acoustic resonator finite element model in active filter design. Proceedings of the 37th International Spring Seminar on Electronics Technology (ISSE). Dresden: IEEE, Pp. 486–490.

Hashimoto K. (2009), RF Bulk Acoustic Wave Filters for Communications. 1 edition. London: Artech House Publishers, P. 275.

Ruby R. et al. (2001), Ultra-miniature high-Q filters and duplexers using FBAR technology. IEEE Solid-state circuits international conference. Digest of Technical Papers. ISSCC.Pp.120–121.

Shea T.E. (1929), Transmission networks and wave filters. Princeton, N.J., D. Van Nostrand, P. 470.

Harris J.W., Stöcker H. (1988), Handbook of Mathematics and Computational Science. NewYork: Springer-Verilog, P.1028.

Poplavko Y.M., Pereverzeva L.P., Raevski I.P. (2009), Physics of Active Dielectrics. Rostov: Publishing of South Federal University. P.480.

Granderson J., Price P. (2012), Evaluation of the Predictive Accuracy of Five Whole Building Baseline Models. Lawrence Berkley National Laboratory.