Регистрация модуляционно-поляризационным методом механических напряжений в поверхностных пленках на твердотельной подложке
##plugins.themes.bootstrap3.article.main##
Аннотация
В статье представлена модуляционно-поляризационная методика регистрации областей сжатия-растяжения в пленочных покрытиях оптически прозрачных твердотельных подложек жений в приповерхностном слое твердотельной подложки разработан подход для расчетов физических параметров нанесенной пленки. Получены модифицированных выражения из уравнений Стоуни, связывающие пластическую деформацию твердотельной подложки с ее оптическими параметрами. Заложенная в расчеты возможность регистрации знакопеременных деформаций позволила рассчитать механические напряжения в столь тонких поверхностных пленках, которые вызывают пренебрежимо малую пластическую деформацию подложки.
Библ. 8, рис. 4.
##plugins.themes.bootstrap3.article.details##
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
Авторы, публикующиеся в данном журнале, соглашаются со следующими условиями:- Авторы сохраняют за собой права на авторство своей работы и предоставляют журналу право первой публикации этой работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution License, которая позволяет другим лицам свободно распространять опубликованную работу с обязательной ссылокой на авторов оригинальной работы и оригинальную публикацию в этом журнале.
- Авторы сохраняют право заключать отдельные договора на неэксклюзивное распространение работы в том виде, в котором она была опубликована этим журналом (например, размещать работу в электронном архиве учреждения или публиковать в составе монографии), с условием сохраниения ссылки на оригинальную публикацию в этом журнале.
- Политика журнала разрешает и поощряет размещение авторами в сети Интернет (например в институтском хранилище или на персональном сайте) рукописи работы как до ее подачи в редакцию, так и во время ее редакционной обработки, так как это способствует продуктивной научной дискуссии и положительно сказывается на оперативности и динамике цитирования статьи (см. The Effect of Open Access).
Библиографические ссылки
Stoney, G. S. (1990). Proc. Royal Soc. Ser. A. V. 82. NA553, pp. 172-175.
Timoshenko, S. P. (1925). J. Optical Soc. of America and Reviue of Scientific Instruments. Vol. 11, №
pp. 233-255.
Singer, P. (1992). Film Stress and How to Measure it’. Semiconductor International. № 10. pp. 54-58.
Ayvazyan, G. E. (1999). ‘Anisotropic Warpage of Wafers with Anodized Porous Silicon Layers. Phys.
Stat. Sol. (a). Vol. 175. pp.7-83.
Sergeev, V. S., Kuznetsov, O. A. (1994). Stresses and deformations in IC elements. Moscow: Radio
and Communication.
Yuzeich, B. M. (2003). Mechanical stresses in thin copper films on the monocristal Si. Metal physics
and new technologies. Vol. 25, № 6. pp. 747-761.
Serdega, B. K. (2011). Modulation polarimetry. Кyiv: Naukova Dumka.
Davydov, S. Yu. and Tikhonov, S. K. (1997). Photoelasticity and quadratic permittivity of wide-gap
semiconductors. Semiconductors. Vol. 31, № 7. pp. 698-699.
