Газорозрядний електронно-променевий випарник для осадження наноструктурованих покриттів

Основний зміст сторінки статті

С.В. Денбновецький
В.Г. Мельник
І.В. Мельник
Б.А. Тугай

Анотація

Розглянуто можливості використання електронних гармат високовольтного. тліючого розряду для нанесення покриттів складного хімічного складу у контрольованому газовому середовищі. Для іонізації потоку пара високої концентрації використовувався дуговий розряд, що запалюється над тиглем з металом, що випаровується. Для покращення адгезії напилюваних покриттів використовувалася іонна очищення підкладок. Отримано залежність струму допоміжного дугового розряду від потужності електронного пучка, досліджено мікроструктуру нанесених покриттів. Проведені дослідження показали високу ефективність використання електронних гармат високовольтного тліючого розряду при нанесенні наноструктурованих композитних покриттів

Блок інформації про статтю

Як цитувати
Денбновецький, С. ., Мельник, В. ., Мельник, І. ., & Тугай, Б. (2011). Газорозрядний електронно-променевий випарник для осадження наноструктурованих покриттів. Електроніка та Зв’язок, 16(3), 64–67. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2011.16.3.265029
Розділ
Вакуумна, плазмова та квантова електроніка

Посилання

Z. Schiller, U. Geisig, and Z. Panzer, Electron Beam Technology, Moscow: Energy, 1980, p. 528.

K. Goedicke, B. Scheffel, and S. Schiller, “Plasmaactivated high-rate electron beam evaporationusing a spotless cathodic”, Surface coatingand technology, no. 68/69, pp. 799–803, 1994

S. Denbnovetsky, V. Melnik, I. Melnik, and B. Tugai, “Development and application of gas-discharge electron-beam evaporators withcold cathode”, in VIII Internationalscientific and technical conference "Hightechnologies in Russian industry”, pp. 221–225.

M. Zavyalov, Y. Kreindel, A. Novikov, and L. Shanturin, Moscow: Atomizdat, 1989, p. 256.