Плазмові системи високого тиску з мікроструктурованими електродами. Частина 1. Фізичні основи генерації нетермічної плазми при атмосферному тиску

Основний зміст сторінки статті

A. I. Kuzmichev
R. Y. Chaplinskiy

Анотація

В даній роботі розглянуті фізичні основи генерації нетермічний нерівноважної плазми при
атмосферному тиску. Показано, що таку плазму бажано отримувати в системах з мікроструктурованними електродами, це дає можливість розподілити розряд по розрядному проміжку і підвищити його однорідність. Однак не менш важливим є отримання стабільного плазмового об’єму, тому в роботі також розглянуті методи стабілізації газових розрядів за до помогою форми живлячої напруги і продувки розрядного проміжку робочим газом.

Бібл. 8, рис. 3

Блок інформації про статтю

Як цитувати
Kuzmichev, A. I., & Chaplinskiy, R. Y. (2014). Плазмові системи високого тиску з мікроструктурованими електродами. Частина 1. Фізичні основи генерації нетермічної плазми при атмосферному тиску. Електроніка та Зв’язок, 19(3), 21–26. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2014.19.3.141285
Розділ
Вакуумна, плазмова та квантова електроніка

Посилання

Bogaerts A., Neyts E., Gijbels R., Mullen J. V. (2002), “Gas discharge plasma and their applications”.

Spectrochemica Acta Part B. Vol. 57, pp. 609-658.

Fridman A. (2008), “Plasma Chemistry”. New York: Cambridge University Press. P. 978.

Kunhardt E.E. (2000), “Generation of large-volume, atmospheric-pressure, nonequilibrium plasmas”.

IEEE Trans. Plasma Sci. Vol. 28, no 1, pp. 189-200.

Sch¨utze A., Jeong J.Y., Babayan S.E., Park J., Selwyn G.S., Hicks R.F. (1998), “The Atmospheric

Pressure Plasma Jet: A Review and Comparison to Other Plasma Sources”. IEEE Trans. Plasma Sci.

Vol. 26, no 6, pp. 1685-1695.

Vereschagin I.P. (1985), “Corona discharge apparatus in electron-ion technology”. Moskva, Energoa

tomizdat. P 160. (Rus)

Mik Dzh., Krеhs Dzh. (1960), “Electrical breakdown in gases”. Mоskvа, Izdаtеl’stvо inоstrаnnоj

litеrаtury. P. 605. (Rus)

Rаjzеr Yu.P. (2009), “Gas discharge physics”. Dоlhоprudnyj, Izdаtеl’skij Dоm «Intеlеkt». P 736. (Rus)

Sаmоjlоvich V.H. , Hibаlоv V.I. , Kоzlоv K.V. (1989), “Physical chemistry of the barrier discharge”.

Moskva, Izd. MHU. P 176. (Rus)