Прецизійне керування параметрами імпульсних газорозрядних джерел електронів

Основний зміст сторінки статті

P. І. Кrаvеz
S. B. Тugаi

Анотація

В статті приводяться результати комп’ютерного моделювання двоканальної системи керування тріодною електронно-променевою гарматою високовольтного тліючого розряду технологічного призначення в імпульсному режимі роботи.

Для побудови адекватної моделі були експериментально отримані параметри реальних пристроїв, що входять в технологічне устаткування.  Отримані в результаті параметри системи керування були використанні для створення експериментального макету та проведені дослідження його роботи.

Запропонована система керування параметрами електронного пучка технологічної тріодної газорозрядної гармати високовольтного тліючого розряду забезпечила проведення технологічного процесу нанесення покриття з Al2O3 в імпульсному режимі з високими показниками якості і може бути використана для проведення інших технологічних операцій з імпульсними газорозрядними джерелами електронів.

Бiбл. 7, рис. 7.

Блок інформації про статтю

Як цитувати
Кrаvеz P. І., & Тugаi S. B. (2013). Прецизійне керування параметрами імпульсних газорозрядних джерел електронів. Електроніка та Зв’язок, 18(4), 21–27. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2013.18.4.158020
Розділ
Вакуумна, плазмова та квантова електроніка

Посилання

Denbnovetsky S.V., Melnyk V.G., Melnyk I.V. (2003), “High voltage glow discharge electron sources and possibilities of its application in industry for realising of different technological operations”. IEEE Transactions on plasma science. Vol. 31, No.5, October, Pp. 987-993.

Ladohyn S.V., Levytskyy N.I., Chernyavskyy V.B., Lapshuk T.V., Shmyhydean V.G., Kravchuk L.A., Gladkov A.S. (2007), “Electron-luchevaya plavka v lytejnom proyzvodstve”. K. "Stal", p. 605. (RUS)

Rykalin N.N., Zuev I.V., Uglov A.A. (1978), “Osnovy electron lychevoy obrabotki materialov”. M. Mashinostroenie, p. 239. (RUS)

Denbnovetsky S.V, Melnik V.I., Melnik I.V., Tugay B.A. (1998), “Investigation of forming of electron beam in glow discharge electron guns with additional electrode”. XVIII-th International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum, August 17-21, Eindhoven, The Netherlands, Proceedings, Vol.2. Pp. 637-640.

Zavyalov M.A., Kreindel Y.E., Novikov A.A., Shanturin L.P. (1989), “Plasmennie procesi v technologicheskih electronnih pushkah”. M. Atomizdat, P. 256. (RUS)

A.S. Kluev, A.T. Lebedev, S.A. Kluev. (1989), “Naladka sredstv avtomatizacii I avtomaticheskih system regulirovania: Spravochnoe posobie”. Tovarnoe; Pod red. A.S. Klueva. 2-e izd., pererab. I dop. M.: Energoatomizdat, P. 368. (RUS)

Denisenko V.V. (2009), “Komputernoe upravlenie technologicheskim procesom, eksperimentom, oborudovaniem”. M. Goryachaya liniya – Telekom, P. 608. (RUS)