Дослідження впливу стану поверхні кремнієвих зондів для атомно-силової мікроскопії на точність та якість одержуваних топограм
Основний зміст сторінки статті
Анотація
Результати проведених у роботі досліджень впливу стану поверхні кремнієвих зондів Ultrasharp CSC12 для АСМ на точність і якість одержуваних топограм дозволили встановити граничний термін їх експлуатації до повного руйнування, що становить 80-115 хвилин. Дослідження у цій роботі проводилися із застосуванням методів РЕМ (JEOL JSM6700F) та ACM (NT-206).Показано можливість модифікації поверхонь зондів, що пройшли інтенсивну експлуатацію, осадженням на них тонких (близько 5...8 нм) покриттів з подальшою електронною обробкою. Дана модифікація призводить до часткового відновлення їх експлуатаційних властивостей (знижує ймовірність виникнення артефактів сканування на 20...22%, збільшує термін експлуатації на 20 хвилин) і може бути основою технології підвищення зносостійкості та експлуатаційної придатності зондів для АСМ
Блок інформації про статтю
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
Посилання
V. Mironov, Fundamentals of scanning probe microscopy: textbook, Nizhny Novgorod: RASIFM, 2004, p. 114.
A. . Suslov and S. . Chizhik, “Scanning probe microscopes (review)”, Materials. Technology, Tools., vol. 2, no. 3, pp. 78–89, Jan. 1997.
A. Suslov, “Atomic force microscope NT206: new opportunities”, in Collection of reports of the 6th Belarusian seminar on scanning probe microscopy "BelSZM-6", pp. 123–130.
M. . Bondarenko and Y. . Bondarenko, “Formation of ordered fine structures on the surfaces of piezoceramicelements combined electronicmethod”, Vyunik of the Cherkasy State Technological University.Special release, pp. 122–123, Jan. 2008.
M. Bondarenko, “Study of forming terms thindiamond similar nanostructures thermal vacuum-depositing”, VisnikCherkasy State TechnologicalUniversity, pp. 114–116, Jan. 2009.
M. Bondarenko, “Formation of ordered nanostructureson the piezoelectric ceramics of the system PZT by vacuum thermal deposition”, in Proceedings of the Tenth Anniversary International Industrial Conference, Slavske village, Lviv region, Karpaty, pp. 159–160, February 18-22, 2010
S. Shelestovskaya, M. Bondarenko, A. Kotlyar, P. Petlevany, and P. Kurylenko, “Formation of ordered nanostructures on surfacessilicon probes for atomic forcemicroscopy by combined thermal vacuum method”, in Collection of reports of the IX International Conference “Methodological aspects of scanning probe microscopy “BelSZM-9””, Minsk, pp. 162–168.
J. Brandon and W. Kaplan, Microstructure of materials. Methodsresearch and control, M: Technosphere, 2004, p. 384.
