Отримання тонкоплівкових гетероструктур методом гарячих стінок та дослідження механізмів струмоперенесення

Основний зміст сторінки статті

Н.В. Ярошенко
Т.В. Семикіна
Ю.Н. Бобренко
Л.Н Шмирьова
В.М. Комащенко
В. Пашкович
Р. Мінікаев

Анотація

Результати розрахунків, зроблених на основі вольт-амперних характеристик, дозволили виявити основний механізм струмоперенесення гетероструктурах, вирощених на основі плівок II-VI. Робиться прогноз можливості створення резонансних тунельних структур з урахуванням досліджуваних плівок.Наведено результати дослідження впливу технологічних параметрів на тип кристалічної структури та розмір зерен плівок матеріалів групи II-VI, вирощених методом «гарячої стінки». Вимірювання спектрів рентгенівської дифракції дозволило виявити, що мікрокристаліти, що формуються, складаються з наноблоків, розмір яких не залежить від зміни досліджуваних технологічних параметрів. За допомогою оптичної мікроскопії вивчено закономірність зміни розмірів мікрокристалітів, що ростуть, від температури випарника і камери. Результати розрахунків, зроблених на основі вольт-амперних характеристик, дозволили виявити основний механізм струмоперенесення гетероструктурах, вирощених на основі плівок II-VI. Робиться прогноз можливості створення резонансних тунельних структур з урахуванням досліджуваних плівок.

Блок інформації про статтю

Як цитувати
Ярошенко, Н. ., Семикіна, Т. ., Бобренко, Ю. ., Шмирьова, Л. ., Комащенко, В. ., Пашкович, В. ., & Мінікаев, Р. (2011). Отримання тонкоплівкових гетероструктур методом гарячих стінок та дослідження механізмів струмоперенесення. Електроніка та Зв’язок, 16(2), 28–33. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2011.16.2.268369
Розділ
Твердотільна електроніка

Посилання

A. Lopez-Otero, “Hot wall epitaxy”, Thin Solid Films, vol. 49, no. 1, pp. 3–57, Feb. 1978. DOI:10.1016/0040-6090(78)90309-7

I. Kalinkin, V. Aleskovsky, and A. Simashkevich, Epitaxial filmsAIIBVI, L: Leningrad State University, 1978, p. 310.

K. Chopra, Electric phenomena in thinfilms, M.: Mir, 1972, p. 432.

Y. Bobrenko, N. Yaroshenko, G. Sheremetova, T. Semikina, and B. Atdaev, “Ultraviolet photodetectorsradiation based on ZnS thin films”, TCEA, vol. 83, no. 5, pp. 29–31, Jan. 2009.

B. Sharma and R. Purohit, Semiconductor heterojunctions, M: Sov. radio, 1979, p. 230.