Деталізація локалізованих рівнів невпорядкованих напівпровідникових структур

Основний зміст сторінки статті

В.А. Бахов
А.С. Мазінов
Л.Д. Пісаренко

Анотація

Наведено спосіб опису ступеня невпорядкованості активних шарів напівпровідникових приладів. На основі спрощеного представлення побудови дефектних грат матеріалу, вводиться функціональна залежність енергетичного спектру, що дає розподілу локальних рівнів у хвостах забороненої зони. Показано можливість пояснення структурних побудов аморфної матриці виходячи з технологічних режимів одержання напівпровідникового шару. Запропоновано параметри, що визначають ступінь розпорядкованості матеріалу.

Блок інформації про статтю

Як цитувати
Бахов, В. ., Мазінов, А. ., & Пісаренко, Л. . (2010). Деталізація локалізованих рівнів невпорядкованих напівпровідникових структур. Електроніка та Зв’язок, 15(1), 12–16. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2010.15.1.312920
Розділ
Твердотільна електроніка

Посилання

A. Sazonov, M. Meitin, D. Strahilev, and A. Nathan, “Low-temperature materials and thin-film transistors for electronics on flexible substrates”, Physics of semiconductors, vol. 40, no. 8, pp. 986–994, 2006.

J.-T. Lin and K.-D. Huang, “A High-Performance Polysilicon Thin-Film Transistor Built on a Trenched Body”, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. 55, no. 9, pp. 2417–2422, Sep. 2008. DOI:10.1109/TED.2008.927667

J. Ziman, Models of Disorder, Moscow: Mir, 1982, p. 591.

M. Brodsky, Amorphous semiconductors, Moscow: Mir, 1982, p. 420.

O. Madelung, Solid State Physics. Localized States, Moscow: Nauka. Main Editorial Board of Physical and Mathematical Literature, 1985, p. 184.

S. Mitra, Physics of Structurally Disordered Solids, N. Y.: Plenum Press, 1976, p. 351.

S. Vonsovsky and M. Katsnelson, Quantum physics of solids, Moscow: Nauka, 1983, p. 336.

B. Ridley, Quantum processes in semiconductor, Oxford University Press, 1982, p. 302.

V. Bonch-Bruevich and S. Kalashnikov, Physics of semiconductors, vol. 3. Moscow: Science. Main editorial board of physical and mathematical literature, 1987, p. 679.

M. Bykov, A. Bykov, S. Zuev, A. Mazinov, N. Slipchenko, and D. Unzhakov, “Model of photogeneration and carrier transport in the a-Si:H/c-Si structure”, Applied Radioelectronics, no. 7, pp. 71–76, 2008.

A. Onishchuk and V. Panfilov, “Mechanism of thermal decomposition of silanes”, Uspekhi khimii, vol. 70, no. 4, pp. 368–379, 2001.

A. Mazinov, E. Lisovets, and A. Karavainikov, “Influence of hydrogen concentration in the magnetron chamber on the hydrogenation of silicon amorphous film”, Bulletin of SumSU, vol. 69, no. 10, pp. 101–106, 2004.