Структуры Al/нанокристаллический CeOx/Si/Al для фотодетекто-ров на основе гетероперехода

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

Oleksandr Vasyliovych Borisov
L. N. Korolevych
N. V. Maksimchuk

Аннотация

Изготовлены и исследованы структуры метал/нанокристаллический-CeOx/Si с целью создания фотодетекторов на основе гетероперехода. Фоточувствительность полученных структур в видимом диапазоне составляет 330 мкA/Лм∙В, плотность поверхностных состояний – на уровне 7∙1010 см-2∙еВ-1. Диэлектрическая проницаемость пленок CeOx на постоянном токе достигает значения 15. Тонкие (80 нм) пленки оксида церия в структурах Al/nc-CeOx/Si/Al были получены методом «взрывного испарения». Исследовано влияние технологических факторов на микроструктуру пленок CeOx, а также на фотоэлектрические свойства структур Al/nc-CeOx/Si/Al. Исследованы электрофизические и фотоэлектрические свойства структур Al/nc-CeOx/Si/Al. Обнаружено, что нанокристаллическая пленка CeOx в полученных структурах Al/nc-CeOx/Si/Al – это полупроводник с электронным типом электропроводности и объемным сопротивлением в пределах 0,5-30 МОм∙см.

Библ. 9, рис. 2.

 

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
Borisov, O. V., Korolevych, L. N., & Maksimchuk, N. V. (2014). Структуры Al/нанокристаллический CeOx/Si/Al для фотодетекто-ров на основе гетероперехода. Электроника и Связь, 19(6), 9–13. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2014.19.6.112902
Раздел
Твердотельная электроника

Библиографические ссылки

Borisov A. V., Shmyryeva A. N., Maksimchuk N. V. Nanocrystalline Films of Cerium Oxide for Biolu-minescent Sensory Systems // J. Nanosystems, Nanomaterials, Nanotechnologies.– 2009.– vol.7.– Pp. 245-254.

Channei D., Nakaruk A., Phanichphant S., Koshy P. and Sorrell C. C. Cerium dioxide thin films using spin coating // Journal of Chemistry.– 2013.– vol. 2013.– Pp. 579284–579287.

Iordanova I., Popova L., Aleksandrova P., Beshkov G., Vlahkov E., Mirchev R., Blagoev B. X-ray in-vestigation of annealed CeO2 films prepared by sputtering on Si substrates // J. Thin Solid Films.– 2007.– vol. 515.– Pp. 8078–8081.

Ivanov V.K., Polezhaeva O.S., Tretiakov Y.D. Nanocrystalline cerium dioxide: synthesis, structure-sensitive properties and promising field of application // Russian Chemical Journal.– 2009.– vol.53.– № 2.– Pp. 56-67.

Maksimchuk N.V., Shmyryeva A.N., Borisov A.V. Properties and Applications of Nanocrystalline Ceri-um Oxide Films // J. Technology and Design in Electronic Equipment.– 2010.– № 5-6.– Pp. 54-59.

McGill T.C. Development and applications of heterojunctions for nanoelectronics for silicon // Final report, California institute of technology.– November 2.– 2002.

Melnik V.G., Nazarenko V.I., Starodub N.F., Maksimchuk N.V., Shmyryeva A.N. Electronic Biolumi-nescent Device for Determination of Toxic Substances // J. Electronics and Communications.– 2008.– part 2.– Pp. 110-114.

Patsalas Р., Logothetidis S. Structure-dependent electronic properties of nanocrystalline cerium oxide // J. Physical Review.– 2003.– vol. B 68.– P. 035104.

Shmyryeva A.N., Borisov A.V., Maksimchuk N.V. Electronic sensors Built on Nanostructured Cerium Oxide Films // J. Nanotechnologies in Russia.– 2010.–vol.5.– № 5-6.– Pp. 382-389.