Структури Al/нанокристалічний CeOx/Si/Al для фотодетекторів на основі гетеропереходу

Основний зміст сторінки статті

Oleksandr Vasyliovych Borisov
L. N. Korolevych
N. V. Maksimchuk

Анотація

Виготовлено та досліджено структури метал/нанокристалічний-CeOx/Si з метою створення фтотодетекторів на основі гетеропереходу. Фоточутливість отриманих структур у видимому діапазоні становить 330 мкA/Лм∙В, густина поверхневих станів – на рівні 7∙1010 см-2∙еВ-1. Діелектрична проникненість плівок CeOx на постійному струмі становить 15. Тонкі (80 нм) плівки оксиду церію в структурах Al/nc-CeOx/Si/Al були отримані методом «вибухового випаровування». Було досліджено вплив технологічних факторів на мікроструктуру плівок CeOx, а також на фотоелектричні властивості структур Al/nc-CeOx/Si/Al. Досліджено електрофізичні та фотоелектричні властивості структур Al/nc-CeOx/Si/Al. Виявлено, що нанокристалічна плівка CeOx в отриманих структурах Al/nc-CeOx/Si/Al – це напівпровідник з електронним типом електропровідності та об’ємним опором в межах 0,5-30 МОм∙см.

Бібл. 9, рис. 2 .

Блок інформації про статтю

Як цитувати
Borisov, O. V., Korolevych, L. N., & Maksimchuk, N. V. (2014). Структури Al/нанокристалічний CeOx/Si/Al для фотодетекторів на основі гетеропереходу. Електроніка та Зв’язок, 19(6), 9–13. https://doi.org/10.20535/2312-1807.2014.19.6.112902
Розділ
Твердотільна електроніка

Посилання

Borisov A. V., Shmyryeva A. N., Maksimchuk N. V. Nanocrystalline Films of Cerium Oxide for Biolu-minescent Sensory Systems // J. Nanosystems, Nanomaterials, Nanotechnologies.– 2009.– vol.7.– Pp. 245-254.

Channei D., Nakaruk A., Phanichphant S., Koshy P. and Sorrell C. C. Cerium dioxide thin films using spin coating // Journal of Chemistry.– 2013.– vol. 2013.– Pp. 579284–579287.

Iordanova I., Popova L., Aleksandrova P., Beshkov G., Vlahkov E., Mirchev R., Blagoev B. X-ray in-vestigation of annealed CeO2 films prepared by sputtering on Si substrates // J. Thin Solid Films.– 2007.– vol. 515.– Pp. 8078–8081.

Ivanov V.K., Polezhaeva O.S., Tretiakov Y.D. Nanocrystalline cerium dioxide: synthesis, structure-sensitive properties and promising field of application // Russian Chemical Journal.– 2009.– vol.53.– № 2.– Pp. 56-67.

Maksimchuk N.V., Shmyryeva A.N., Borisov A.V. Properties and Applications of Nanocrystalline Ceri-um Oxide Films // J. Technology and Design in Electronic Equipment.– 2010.– № 5-6.– Pp. 54-59.

McGill T.C. Development and applications of heterojunctions for nanoelectronics for silicon // Final report, California institute of technology.– November 2.– 2002.

Melnik V.G., Nazarenko V.I., Starodub N.F., Maksimchuk N.V., Shmyryeva A.N. Electronic Biolumi-nescent Device for Determination of Toxic Substances // J. Electronics and Communications.– 2008.– part 2.– Pp. 110-114.

Patsalas Р., Logothetidis S. Structure-dependent electronic properties of nanocrystalline cerium oxide // J. Physical Review.– 2003.– vol. B 68.– P. 035104.

Shmyryeva A.N., Borisov A.V., Maksimchuk N.V. Electronic sensors Built on Nanostructured Cerium Oxide Films // J. Nanotechnologies in Russia.– 2010.–vol.5.– № 5-6.– Pp. 382-389.