Управління властивостями наноструктур під час створення технологічних процесів побудови наноприладів
Основний зміст сторінки статті
Анотація
Розглянуто можливості комбініванних комплексів, які складаються з установок електронної та скануючої туннельной літографій і дозволяють отримувати експериментальні зразки наноприладів із структур розміром у кілька десятків атомних верств. Показано, що створення електротронного приладу нанометрових розмірів може бути здійснено шляхом поєднання технології формування наноструктур у системі «вістря-підкладка» та наявності вузла управління для високошвидкісного будівництва. ня програмно наноелементів, що задаються
Блок інформації про статтю
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
Посилання
N. Khodakovsky and A. Zolot, “Usagedatabases of cluster structures when buildingtechnological processes of creationcomponents of nanodevices”, in V Internationalnative scientific and technical conference"Electronics and Informatics - 2005", 23-25.11.2005, pp. 337–238.
A. Zolot and N. Khodakovsky, “Studyphysical and technological processesof nanostructures to create nanodevicesditch and control of their properties”, Controlsystems and machines, no. 1, pp. 48–52, 2007.
Patents of Ukraine: №№ UA39552, UA77015, UA90571
I. Obukhov, “About the possibility of applicationSTM-AFM lithography for creating newtypes of quantum devices”, Mikrosistem-naya technique, no. 6, pp. 34–37, 2003.
I. Obukhov, Modeling the transferseries in mesoscopic structures, Sevastopol: Weber, 2005, p. 226.
A. Zolot, N. Khodakovsky, and I. Yavorsky, “Model of the process of transfer of atoms during the formationmodeling of nanostructures”, in V Internationalnaya scientific and technical conference "Elec-tronics and informatics - 2005", 23-25.11.2005, pp. 20–21.
Zolot A.I., Larkin S.Yu., Khodakovsky M.I., Korzhinsky F.J., Merzhvinsky P.A. Priestry for the preparation of nanostructures, Patent of Ukraine, nor on wines UA 80154, Bull. No. 13, 2007
V. Verbitsky, Ionic technologies inelectronics, Kyiv: MP "Lesya", 2002, p. 376.
