Моделювання надвисокочастотного генератора плазми

Volodymyr Volodymyrovych Perevertailo

Анотація


Представлено результати 3D моделювання хвилеводно-резонаторного тракту спільно з газорозрядною камерою, шляхом чого було розраховано геометричні параметри НВЧ генератора в узгодженому режимі з максимальною передачею енергії від джерела НВЧ потужності до області, де буде відбуватись генерація плазми. Розрахунок проводився, виходячи з умови подальшого сумісного використання пристрою з системою магнетронного розпилення і призначений він для активації інертного газу. У даній роботі представлено аналіз складових частин генератора плазми з урахуванням розрахунків, опис схеми роботи системи та принцип роботи НВЧ генератора плазми.

Бібл. 12, рис. 9.


Ключові слова


надвисокочастотний генератор плазми; 3D моделювання; НВЧ тракт; хвилевід

Повний текст:

PDF

Посилання


A. Azarenkov, V. Beresnev and A. Pogrebniak, Struktura i vlastyvosti zahysnyh pokryttiv i modyfikovanyh shariv materialiv [The structure and properties of the protective coating layers and modified materials], Kharkiv: Karazin KNU, 2007, p. 560. ISBN: 978-966-623-476-9

E. Dabyzha, N. Novikov, N. Borуsovа, I. Bondar, V. Dabyzha and A. Zolotukhin, «Suchasni vakuumni texnologiyi oderzhannya pokryttiv [Up-to-date vacuum technology for coatings production],» Suchasna electrometallurgia, no. 4, pp. 34-40, 2005.

«Method magnetronnogo napilennya pokrittіv z іonnym asystuvannyam [Method of magnetron coating deposition with ion assisting],» 2009. [Online]. Available: http://cozap.com.ua/text/9625/index-1.html. [Accessed: 07 December 2015].

B. Lyashenko, V. Mirnenko, L. Golovko and M. Boleyko, «Keruvannya parametramy nanesennya vakuum-plazmovyh pokryttiv z metoyu pidvyshchennya yih harakterystyk mizznosti i plastychnosti [Control of parameters for applying vacuum plasma coatings to improve their strength and ductility characteristics],» Naukovi Visti NTUU "KPI", no. 5, pp. 49-54, 2005.

V. Beresnev, D. Perlov and A. Fedorenko, Ekologichno bezpechne vakuumno-plazmove obladnannya i texnologiyi nanesennya pokryttiv [Sustainable vacuum plasma equipment and coating technology], Kharkiv: KISP, 2010, p. 292.

A. Demchyshyn, Y. Kurapov, A. Goncharov, V. Mychenko, E. Kostin and E. Ternovoy, «Doslidna ionno-plazmova ustanovka dlya nanesennya pokryttiv u vakuumi [Pilot ion-plasma unit for coatings deposition in vacuum],» Problemy spets. metalurhii, no. 4, pp. 41-43, 2001.

O. Volpyan, A. Kuzmichev и A. Samokysh, «Sovremennye opticheskie plenochnye pokrytiya [Up-to-date optical film coatings],» Electronics and communications, vol. 13, no. 5 (46), pp. 5-19, 2008.

A. Kuzmichev, Magnetronnye raspylitel'nye sistemy [Magnetron sputtering systems], vol. 1, Kiev: Avers, 2008. ISBN: 966-8934-07-5

R. Yafarov, Fyzyka SVCh vakuumno-plazmennyh nano-texnologyi [Physics of microwave vacuum-plasma nano-technologies], Moskva: Phizmalit, 2009, p. 216. ISBN: 978-5-9221-1150-8

A. Kuzmichev, V. Perevertailo and A. Mumladze, «SVCh gazorazriadnyi svetilnik na parah sery [Microwave gas-discharge sulfur vapor lamр],» Electronics and communications, vol. 20, no. 5 (20), pp. 15-21, 2015. DOI: 10.20535/2312-1807.2015.20.5.69930

I. Lebedev, Technica i pribory SVCh [MW equipment and devices], Moskva: Vysshaia shkola, 1970, 440 p.

V. Perevertailo, A. Kuzmichev, «Modeluvannia plazmovych djerel shvydkyh neitraliv [Simulation of fast neutrals plasma sources],» in Proc. of 10th theoretical and practical conference Perspektyvni napriamky suchasnoi electroniky, Kyiv, Ukraine, pp. 33-40, 7-8 April 2016.




DOI: https://doi.org/10.20535/2523-4455.2018.23.1.105252

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Copyright (c) 2017 Перевертайло В. В.

Creative Commons License
Ця робота ліцензована Creative Commons Attribution 4.0 International License.

ISSN: 2523-4447
e-ISSN: 2523-4455