DOI: https://doi.org/10.20535/2523-4455.2023.28.2

Опубликован: 2023-08-31

Мікромініатюрні сенсори тиску на основі діодних структур

Владислав Анатолійович Клименко, Тетяна Вікторівна Семікіна

272760.1-272760.10