Моделювання тліючого розряду в коаксіальній системі електродів

Виконано моделювання тліючого розряду в циліндричній коаксіальній системі з діелектричними торцями електродів в гідродинамічному дрейфово-дифузному наближенні. Параметри моделі: діаметр зовнішнього  катода 10 та 13 мм, діаметр анода 2 мм, напруга 2800 В, температура газу 300 К. pd ~ 1 Па∙м, що відповідає лівій частині області мінімуму кривої Пашена для запалювання розряду. Були враховані реакції іонізації атомів електронним ударом, генерації та гасіння метастабільних атомів, пружнього зіткнення електронів з атомами та пружнє зіткнення іонів, резонансне перезарядження іонів, іонізація Пенінга, а також вторинна іонно-електронна емісія катода. Були розраховані в рамках самоузгодженої задачі розподіл потенціалу і концентрації заряджених частинок в міжелектродному проміжку, густини іонних і електронних струмів, представлені вольт-амперні характеристики для двух мод розряду - плазмового та безплазмового. Визначено вплив  pd на параметри та моду розряду. Отримані результати можуть бути використані в плазмових технологіях модифікації внутрішніх поверхонь металевих, порожнистих, протяжних деталей з малим поперечним розміром, тобто в умовах близьких до ускладненого виникненням розряду.